[发明专利]超精细图案沉积设备、使用其的超精细图案沉积方法以及通过该方法制造的发光显示装置

权利要求书

1.一种超精细图案沉积设备，包括：

基底基板；

加热部，其容置于所述基底基板，配置成在沉积过程期间产生热用以加热，所述加热部包括根据从外部供给的电压而产生热的加热器，设置在所述加热部上并且传递热的导热层、以及密封所述加热器和所述导热层的绝缘层；

设置在所述加热部上的源部；

图案引导件，其具有包括侧向凹入的下部和从所述下部突出的上部的开口，以便将从所述源部发射的源引导至目标区域，其中所述开口包括第一开口和第二开口；以及

所述设备还包括用于减少传递至所述图案引导件的热或使所述图案引导件保持在比所述加热部低的温度下的冷却部；以及

所述加热部设置成使得对应于所述第一开口的加热部加热所述源部以使得所述源发射，而对应于所述第二开口的加热部保持其不产生热的状态，在所述第一开口和所述第二开口中的源由相同材料形成；以及

所述沉积设备还包括用于向所述加热部施加正电压的第一电极层和用于向所述加热部施加负电压的第二电极层，所述第一电极层和所述第二电极层在垂直方向上彼此分离并且在所述沉积设备的截面图中布置在不同水平处；以及

其中所述超精细图案沉积设备还包括设置在所述图案引导件上的涂层。

2.根据权利要求1所述的超精细图案沉积设备，所述上部的最外端的尺寸不超过所述下部的最大尺寸的0.95倍。

3.根据权利要求1所述的超精细图案沉积设备，其中所述图案引导件由单层或至少两层形成。

4.根据权利要求1所述的超精细图案沉积设备，其中所述开口形成在所述图案引导件与所述基底基板之间的空间，所述空间的侧壁和顶部具有直线、非直线、斜线、圆形、椭圆形或多边形形式。

5.根据权利要求1所述的超精细图案沉积设备，其中所述加热器、所述导热层和所述绝缘层中的至少一者位于所述基底基板的一侧上或所述基底基板的内部。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的超精细图案沉积设备，其中所述加热器以之字形、块形、线形、螺旋形和圆形中的至少一种形成。

7.一种使用超精细图案沉积设备的超精细图案沉积方法，所述超精细图案沉积设备包括：容置于基底基板并且产生热的加热部、设置在所述加热部上的源部、以及图案引导件，所述图案引导件具有包括侧向凹入的下部和从所述下部突出的上部的开口以将从所述源部发射的源引导至目标区域，其中所述开口包括第一开口和第二开口，所述设备还包括用于减少传递至所述图案引导件的热或使所述图案引导件保持在比所述加热部低的温度下的冷却部；

所述超精细图案沉积方法包括：

将所述超精细图案沉积设备布置在目标基板下方或上方；

布置所述超精细图案沉积设备和所述目标基板并且将所述超精细图案沉积设备和所述目标基板对准；以及

向所述加热部供给电压，使得所述源沉积在所述目标基板的子像素的发光区域上以形成图案，其中所述加热部设置成使得对应于所述第一开口的加热部加热所述源部以使得所述源发射，而对应于所述第二开口的加热部保持其不产生热的状态；以及

其中所述第一开口和所述第二开口中设置相同的源材料，

在所述沉积方法中在所述第一开口中的源部和所述第二开口中的源部交替使用。

8.根据权利要求7所述的超精细图案沉积方法，其中所述图案的沉积包括第一图案沉积步骤和第二图案沉积步骤。

9.根据权利要求8所述的超精细图案沉积方法，其中当执行所述第一图案沉积时，根据所述加热部的操作从位于所述第一开口中的源部发射所述源，而由于所述加热部不操作因而不从位于所述第二开口中的源部发射所述源，

当执行所述第二图案沉积时，根据所述加热部的操作从位于所述第二开口中的所述源部发射所述源，而由于所述加热部不操作因而不从位于所述第一开口中的所述源部发射所述源，以及

在执行所述第二图案沉积时，基于所述第一开口或所述第二开口将所述超精细图案沉积设备偏移一个开口，并且所述目标基板从第一目标基板改变为第二目标基板。