[发明专利]显影装置及基板显影方法在审
| 申请号： | 201811271898.0 | 申请日： | 2018-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN109407387A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 丁鹏 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1335 | 分类号： | G02F1/1335;G02F1/13;G03F7/30 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种显影装置及基板显影方法。该显影装置包括：传送平台以及设于所述传送平台上方的喷淋机构；所述喷淋机构包括喷淋管以及设于所述喷淋管上的多个第一喷嘴和多个第二喷嘴；所述传送平台用于传动基板，并在传动过程中使基板相对于水平方向倾斜，可以使药液流向较为一致，降低基板产生Mura的可能性；且新旧药液置换率较高，对于区域性浓度控制较好，后续只需要较小的吹风力道即可干燥基板，进一步降低基板产生Mura的可能性，所述第一喷嘴用于持续向基板喷淋药液；所述第二喷嘴用于根据预设的喷淋密度开启喷淋药液或关闭喷淋药液，可以防止基板上分布的药液浓度有梯度产生，提高药液分布的一致性，进而提高基板内的关键尺寸的一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 喷嘴 喷淋 传送平台 显影装置 基板显影 喷淋机构 喷淋管 传动过程 干燥基板 基板相对 浓度控制 药液流向 药液置换 区域性 传动 预设 吹风 | ||
【主权项】：
1.一种显影装置，其特征在于，包括：传送平台(10)以及设于所述传送平台(10)上方的喷淋机构(20)；所述喷淋机构(20)包括喷淋管(21)以及设于所述喷淋管(21)上的多个第一喷嘴(22)和多个第二喷嘴(23)；所述传送平台(10)用于传动基板(30)，并在传动过程中使基板(30)相对于水平方向倾斜；所述第一喷嘴(22)用于持续向基板(30)喷淋药液；所述第二喷嘴(23)用于根据预设的喷淋密度开启喷淋药液或关闭喷淋药液。
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