[发明专利]显影装置及基板显影方法

说明书

本发明提供一种显影装置及基板显影方法。该显影装置包括：传送平台以及设于所述传送平台上方的喷淋机构；所述喷淋机构包括喷淋管以及设于所述喷淋管上的多个第一喷嘴和多个第二喷嘴；所述传送平台用于传动基板，并在传动过程中使基板相对于水平方向倾斜，可以使药液流向较为一致，降低基板产生Mura的可能性；且新旧药液置换率较高，对于区域性浓度控制较好，后续只需要较小的吹风力道即可干燥基板，进一步降低基板产生Mura的可能性，所述第一喷嘴用于持续向基板喷淋药液；所述第二喷嘴用于根据预设的喷淋密度开启喷淋药液或关闭喷淋药液，可以防止基板上分布的药液浓度有梯度产生，提高药液分布的一致性，进而提高基板内的关键尺寸的一致性。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种显影装置及基板显影方法。

背景技术

薄膜晶体管(Thin Film Transistor，TFT)是目前液晶显示装置(Liquid CrystalDisplay，LCD)和有源矩阵驱动式有机电致发光显示装置(Active Matrix Organic Light-Emitting Diode，AMOLED)中的主要驱动元件，直接关系平板显示装置的显示性能。

现有市场上的液晶显示器大部分为背光型液晶显示器，其包括液晶显示面板及背光模组(backlight module)。液晶显示面板的工作原理是在薄膜晶体管阵列基板(ThinFilm Transistor Array Substrate，TFT Array Substrate)与彩色滤光片(ColorFilter，CF)基板之间灌入液晶分子，并在两片基板上分别施加像素电压和公共电压，通过像素电压和公共电压之间形成的电场控制液晶分子的旋转方向，以将背光模组的光线透射出来产生画面。

随着小尺寸TFT-LCD越做越精细，对应工艺设备也在不断更新换代以满足工艺需求，以6代LTPS(Low Temperature Poly-silicon，低温多晶硅)产线为例，在CF基板制造中使用的显影机，已将基板从水平搬送方式变更为倾斜搬送方式。倾斜搬送方式有如下优点：1、药液流向较为一致，Mura发生可能性较小；2、干燥效果好，吹除时所需力道小，Mura发生可能性较小；3、新旧药液置换率较高，对于区域性浓度控制较好，同时洗净能力较强，对节省去离子水用量比较有利；4、药液水膜较薄，对减少药液持出量较好。尽管倾斜搬送方式有上述优点，但仍有不足的地方：1、导辊(Guide Roller)磨损会比较严重，水平线调整频繁，基板破片问题较为严重；2、倾斜部是生产周期时间(Tact Time)的瓶颈，设备总体长度会偏长一些；3、药液均匀分布会有浓度梯度产生，基板内的关键尺寸(Critical Dimension，CD)会呈现梯度分布，不利于控制关键尺寸一致性。

发明内容

本发明的目的在于提供一种显影装置，可以防止基板上分布的药液浓度有梯度产生，提高药液分布的一致性，进而提高基板内的关键尺寸的一致性。

本发明的目的还在于提供一种基板显影方法，可以防止基板上分布的药液浓度有梯度产生，提高药液分布的一致性，进而提高基板内的关键尺寸的一致性。

为实现上述目的，本发明提供了一种显影装置，包括：传送平台以及设于所述传送平台上方的喷淋机构；所述喷淋机构包括喷淋管以及设于所述喷淋管上的多个第一喷嘴和多个第二喷嘴；

所述传送平台用于传动基板，并在传动过程中使基板相对于水平方向倾斜；

所述第一喷嘴用于持续向基板喷淋药液；

所述第二喷嘴用于根据预设的喷淋密度开启喷淋药液或关闭喷淋药液。

所述传送平台中设有多个相对于水平方向倾斜的导辊。

所述基板相对于水平方向倾斜的角度为5°。

所述第二喷嘴内具有螺纹，通过T型螺帽与螺纹配合来关闭第二喷嘴。