[发明专利]一种连续型真空多彩镀膜系统在审
| 申请号： | 201811269528.3 | 申请日： | 2018-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN109402596A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 张绍璞;范刚;庞亮;黄兴盛;何志聪;王忠明;林志敏 | 申请（专利权）人： | 厦门建霖健康家居股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/50 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郭锦辉 |
| 地址： | 361000 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种连续型真空多彩镀膜系统，其包括按续连接的进料辉光清洗真空腔体，中频溅射镀膜真空腔体和出料真空腔体，进料辉光清洗真空腔体可用于获得1.0E‑3数量级真空度，进行辉光除气，敏化金属表层，为增强膜层与镀膜表面的结合力做好准备；中频溅射镀膜真空腔体进行镀膜工作，其保持1Pa以下压力，并设置本底真空0.003Pa，用高能量金属粒子注入工件表层导电层，然后在此基础上通入一定比例的氮气、乙炔，获得彩色PVD膜层；出料真空腔体在使中频溅射镀膜真空腔体保持中高真空的同时用于换物料并隔绝大气。 | ||
| 搜索关键词： | 真空腔体 镀膜真空 中频溅射 辉光 腔体 镀膜系统 连续型 出料 清洗 氮气 乙炔 本底真空 镀膜表面 工件表层 金属表层 金属粒子 导电层 高能量 高真空 结合力 增强膜 除气 镀膜 可用 敏化 | ||
【主权项】：
1.一种连续型真空多彩镀膜系统，包括进料辉光清洗真空腔体(1)，中频溅射镀膜真空腔体(2)和出料真空腔体(3)，其特征在于，通过按续连接所述进料辉光清洗真空腔体(1)，中频溅射镀膜真空腔体(2)和出料真空腔体(3)形成该连续型真空多彩镀膜系统。
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