[发明专利]一种连续型真空多彩镀膜系统

权利要求书

1.一种连续型真空多彩镀膜系统，包括进料辉光清洗真空腔体(1)，中频溅射镀膜真空腔体(2)和出料真空腔体(3)，其特征在于，通过按续连接所述进料辉光清洗真空腔体(1)，中频溅射镀膜真空腔体(2)和出料真空腔体(3)形成该连续型真空多彩镀膜系统。

2.根据权利要求1所述的连续型真空多彩镀膜系统，其特征在于，所述进料辉光清洗真空腔体(1)用于获得-3数量级真空度，进行辉光除气，敏化金属表层。

3.根据权利要求1所述的连续型真空多彩镀膜系统，其特征在于，所述中频溅射镀膜真空腔体(2)用于进行镀膜工作，其保持1Pa以下压力，并设置本底真空0.003Pa，用高能量金属粒子注入工件表层导电层，然后在此基础上通入一定比例的氮气和乙炔，获得彩色PVD膜层。

4.根据权利要求1所述的连续型真空多彩镀膜系统，其特征在于，所述出料真空腔体(3)在使所述中频溅射镀膜真空腔体(2)保持中高真空的同时用于换物料并隔绝大气。

5.根据权利要求1所述的连续型真空多彩镀膜系统，其特征在于，所述进料辉光清洗真空腔体(1)的工作过程为：

步骤一获取真空0.005Pa，过程时间为240s；

步骤二加电压2000V，输入50％的Ar，流量为1000sccm，气压为3Pa,节流阀角度为0°,节拍时间为180s，频率25Hz；

步骤三传送物料至腔体2，过程为40s；步骤四充过滤后的大气，过程为20s。

6.根据权利要求1所述的连续型真空多彩镀膜系统，其特征在于，所述中频溅射镀膜真空腔体(2)的工作过程为：

步骤一为恢复真空0.003Pa，过程为30s；

步骤二为Zr靶的功率设为20千瓦，输入氩气，流量为100sccm，偏压：200V，50％，节流阀角度为90°，节拍时间为90s，频率35Hz；

步骤三为恢复真空0.003Pa，过程为30s；

步骤四为Zr靶的功率设为32千瓦，输入氩气，气体流量为N2：50-150sccm，C2H2：50-150sccm偏压：80V，50％，节流阀角度为90°，节拍时间为90s，频率35Hz；

步骤五为传送物料至腔体3，过程为40s。

7.根据权利要求1所述的连续型真空多彩镀膜系统，其特征在于，所述出料真空腔体(3)的工作过程为：

步骤一获取真空0.005Pa，过程为200s；

步骤二充过滤后的大气，过程为20s；

步骤三为传送物料至外轨道，过程为40s。

8.根据权利要求1所述的连续型真空多彩镀膜系统，其特征在于，采用高真空插板阀在所述腔体之间进行物料传输，其设计漏率为1.0x10-5mbar l/s,厚度为180mm。

9.根据权利要求1所述的连续型真空多彩镀膜系统，其特征在于，所述腔体还具有KF25接口由于连接四通管，当四通管连接到腔体上时，所述四通管其余三个端口分别连接热电阻规管热阴极电离规管和感温探头。