[发明专利]靶材腐蚀剂及其应用方法在审
| 申请号： | 201811230408.2 | 申请日： | 2018-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN111074279A | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;黄东长 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/28 | 分类号： | C23F1/28;G01N1/32 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种靶材腐蚀剂及其应用方法，包括：硫酸、硝酸、氢氟酸以及盐酸；所述硫酸质量百分比为20％‑23％；所述硝酸质量百分比15％‑18％；所述氢氟酸质量百分比为21％‑24％；所述盐酸质量百分比为33％‑40％；还提供不锈钢样品，使用所述靶材腐蚀剂对所述样品进行腐蚀；将腐蚀后的所述样品进行清洗吹干。使用所述靶材腐蚀剂对不锈钢样品进行金相观察，将所述靶材腐蚀剂用于腐蚀不锈钢样品，使得所述样品的晶界能够完全显示出来，避免由于所述样品的晶界显示的不完全而造成晶粒度的误差；将腐蚀完全的所述样品进行清晰并且吹干，减少所述样品表面的杂质，使得对所述样品内部晶界的观察的更精确。 | ||
| 搜索关键词： | 腐蚀剂 及其 应用 方法 | ||
【主权项】：
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