[发明专利]靶材腐蚀剂及其应用方法

说明书

一种靶材腐蚀剂及其应用方法，包括：硫酸、硝酸、氢氟酸以及盐酸；所述硫酸质量百分比为20％‑23％；所述硝酸质量百分比15％‑18％；所述氢氟酸质量百分比为21％‑24％；所述盐酸质量百分比为33％‑40％；还提供不锈钢样品，使用所述靶材腐蚀剂对所述样品进行腐蚀；将腐蚀后的所述样品进行清洗吹干。使用所述靶材腐蚀剂对不锈钢样品进行金相观察，将所述靶材腐蚀剂用于腐蚀不锈钢样品，使得所述样品的晶界能够完全显示出来，避免由于所述样品的晶界显示的不完全而造成晶粒度的误差；将腐蚀完全的所述样品进行清晰并且吹干，减少所述样品表面的杂质，使得对所述样品内部晶界的观察的更精确。

技术领域

本发明涉及热处理技术领域，特别涉及一种靶材腐蚀剂及其应用方法。

背景技术

随着半导体行业的飞速发展，封装行业中需使用不锈钢靶材的数量急剧上升，对不锈钢靶材的性能要求也不断提高，不锈钢靶材的内部组织结构与其硬度、强度、延展性等材料性能有着直接和密切的联系，所以通常根据不锈钢靶材内部组织结构来判断靶材的溅射性能。

金相观察是研究不锈钢靶材内部组织结构最为直接有效的方法，所以要对不锈钢靶材内部晶粒金相进行分析和研究。现有的方法使用硝酸酒精溶液对不锈钢进行腐蚀检测，然而此方法并不能清楚的显示出不锈钢内部晶粒组织。

所以，极需提供一种靶材腐蚀剂，并且使用所述靶材腐蚀剂使得不锈钢靶材能够清楚的显示出内部晶粒组织。

发明内容

本发明解决的问题是：现有技术无法使得不锈钢靶材内部的晶粒金相组织清楚的显示。

为解决上述问题，本发明提供一种靶材腐蚀剂，包括：硫酸、硝酸、氢氟酸以及盐酸；所述硫酸质量百分比为20％-23％；所述硝酸质量百分比15％-18％；所述氢氟酸质量百分比为21％-24％；所述盐酸质量百分比为33％-40％。

可选的，所述硫酸浓度质量分数高于98％，所述硝酸浓度质量分数高于68％，所述氢氟酸浓度质量分数高于40％，所述盐酸浓度质量分数高于36％。

可选的，所述硫酸、所述硝酸、所述氢氟酸以及所述盐酸的体积比为2:2:5:9。

本发明还提供包括上述靶材腐蚀剂的应用方法，包括以下步骤：提供不锈钢样品，使用所述靶材腐蚀剂对所述样品进行腐蚀；将腐蚀后的所述样品进行清洗吹干。

可选的，将所述样品进行腐蚀之前还包括步骤：将所述样品进行打磨。

可选的，提供碳化硅水砂纸，使用所述碳化硅水砂纸对所述样品进行打磨。

可选的，提供多张碳化硅水砂纸，所述碳化硅水砂纸的沙粒粗细不同。

可选的，将打磨后的所述样品进行清洗。

可选的，将所述样品进行腐蚀的时间为60s-90s。

可选的，所述清洗吹干过程包括：先对所述样品用水冲洗，然后使用乙醇溶液进行清洗。

与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：

本发明提供一种靶材腐蚀剂包括：硫酸、硝酸、氢氟酸以及盐酸；所述硫酸质量百分比为20％-23％；所述硝酸质量百分比15％-18％；所述氢氟酸质量百分比为21％-24％；所述盐酸质量百分比为33％-40％。所述靶材腐蚀剂由所述硫酸、所述硝酸、所述氢氟酸以及所述硝酸配制而成，且所述靶材腐蚀剂由所述硫酸、所述硝酸、所述氢氟酸以及所述硝酸都为浓度高的酸，配制而成的所述靶材腐蚀剂的腐蚀性能强。