[发明专利]靶材腐蚀剂及其应用方法在审
| 申请号： | 201811230408.2 | 申请日： | 2018-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN111074279A | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;黄东长 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/28 | 分类号： | C23F1/28;G01N1/32 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 腐蚀剂 及其 应用 方法 | ||
1.一种靶材腐蚀剂，其特征在于，包括：
硫酸、硝酸、氢氟酸以及盐酸；
所述硫酸质量百分比为20％-23％；
所述硝酸质量百分比15％-18％；
所述氢氟酸质量百分比为21％-24％；
所述盐酸质量百分比为33％-40％。
2.如权利要求1所述靶材腐蚀剂，其特征在于，所述硫酸浓度质量分数高于98％，所述硝酸浓度质量分数高于68％，所述氢氟酸浓度质量分数高于40％，所述盐酸浓度质量分数高于36％。
3.如权利要求2所述靶材腐蚀剂，其特征在于，所述硫酸、所述硝酸、所述氢氟酸以及所述盐酸的体积比为2:2:5:9。
4.一种权利要求1-3任意一种靶材腐蚀剂的应用方法，其特征在于，包括以下步骤：
提供不锈钢样品，使用所述靶材腐蚀剂对所述样品进行腐蚀；
将腐蚀后的所述样品进行清洗吹干。
5.如权利要求4所述应用方法，其特征在于，将所述样品进行腐蚀之前还包括步骤：将所述样品进行打磨。
6.如权利要求5所述应用方法，其特征在于，提供碳化硅水砂纸，使用所述碳化硅水砂纸对所述样品进行打磨。
7.如权利要求6所述不锈钢金相组织的显示方法，其特征在于，提供多张碳化硅水砂纸，所述碳化硅水砂纸的沙粒粗细不同。
8.如权利要求5所述应用方法，其特征在于，将打磨后的所述样品进行清洗。
9.如权利要求4所述应用方法，其特征在于，将所述样品进行腐蚀的时间为60s-90s。
10.如权利要求4所述应用方法，其特征在于，所述清洗吹干过程包括：先对所述样品用水冲洗，然后使用乙醇溶液进行清洗。
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