[发明专利]蒸镀装置在审
| 申请号： | 201811206219.1 | 申请日： | 2018-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN109321884A | 公开（公告）日： | 2019-02-12 |
| 发明（设计）人： | 徐超 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请提出了一种蒸镀装置，所述蒸镀装置包括主腔体及位于所述主腔体两侧的至少两个子腔体。所述子腔体用于提供蒸镀工艺中的蒸镀材料。本发明通过将至少一所述子腔体作为备用蒸镀源。当其中一个或一个以上的所述子腔体中的蒸镀材料耗尽时，另一所述子腔体中的备用蒸镀源开始工作，使蒸镀装置能连续镀膜，增加了蒸镀装置的产能。并且，减少了蒸镀装置的维修保养时间。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀装置 子腔体 蒸镀材料 蒸镀源 主腔体 备用 连续镀膜 维修保养 产能 腔体 蒸镀 耗尽 申请 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：主腔体，包括第一壳体、位于所述第一壳体内的载台及与所述载台相对设置的线源坩埚；至少两个子腔体，包括蒸镀源；开关，用于控制所述子腔体或所述蒸镀源的打开或关闭；至少两个第一通道，所述第一通道包括第一部分和第二部分，所述第一部分位于所述主腔体内，所述第二部分位于所述子腔体内，所述线源坩埚通过所述第一通道与所述蒸镀源连接。
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