[发明专利]蒸镀装置

说明书

本申请提出了一种蒸镀装置，所述蒸镀装置包括主腔体及位于所述主腔体两侧的至少两个子腔体。所述子腔体用于提供蒸镀工艺中的蒸镀材料。本发明通过将至少一所述子腔体作为备用蒸镀源。当其中一个或一个以上的所述子腔体中的蒸镀材料耗尽时，另一所述子腔体中的备用蒸镀源开始工作，使蒸镀装置能连续镀膜，增加了蒸镀装置的产能。并且，减少了蒸镀装置的维修保养时间。

技术领域

本申请涉及面板制造领域，特别涉及一种蒸镀装置。

背景技术

目前，有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)器件制作的主要方式是加热蒸发镀膜。

在工艺上，当蒸镀装置中的蒸镀材料消耗完时，需要开腔进行加料。而蒸发装置属于高真空镀膜设备，工作压力需要低于5*10^-5Pa。将蒸镀源内腔压力降低至工作需要花费1～2天时间，每次加料需要耗费较长的时间，限制了蒸镀装置的产能。

因此，目前亟需一种新型的蒸镀装置解决上述问题。

发明内容

本申请提供一种蒸镀装置，以解决现有蒸镀装置因加料而造成产能降低的技术问题。

为解决上述技术问题，本申请提供的技术方案如下：

本申请提供了一种蒸镀装置，其包括：

主腔体，包括第一壳体、位于所述第一壳体内的载台及与所述载台相对设置的线源坩埚；

至少两个子腔体，包括蒸镀源；

开关，用于控制所述子腔体或所述蒸镀源的打开或关闭；

至少两个第一通道，所述第一通道包括第一部分和第二部分，所述第一部分位于所述主腔体内，所述第二部分位于所述子腔体内，所述线源坩埚通过所述第一通道与所述蒸镀源连接。

在本发明的蒸镀装置中，所述子腔体内设置有至少一第一监控装置，所述第一监控装置用于监控所述蒸镀源内蒸镀材料的剩余量。

在本发明的蒸镀装置中，所述主腔体内还设置有至少一第二监控装置，所述第二监控装置用于监控蒸镀材料的速率。

在本发明的蒸镀装置中，每一所述第一通道上至少设置有第一开关和第二开关；

所述第一开关位于所述第一部分上，所述第二开关位于所述第二部分上。

在本发明的蒸镀装置中，所述线源坩埚包括第二壳体、及设置于所述第二壳体上的第一通孔。

在本发明的蒸镀装置中，所述线源坩埚还包括设置于所述第二壳体内的至少一气流分散板、及设置于所述气流分散板上的第二通孔。

在本发明的蒸镀装置中，所述第一通孔的孔径不小于所述第二通孔的孔径。

在本发明的蒸镀装置中，所述蒸镀装置至少包括第一子腔体和第二子腔体；

所述第一子腔体及所述第二子腔体中的所述蒸镀源与至少一所述第一通道连接。

在本发明的蒸镀装置中，所述线源坩埚、所述蒸镀源或所述第一通道中至少一者的表面设置有加热装置。

在本发明的蒸镀装置中，所述载台包括第一开口；

所述第一开口在第一方向上的间距小于目标基板在第一方向上的长度。

有益效果为：本申请提出了一种蒸镀装置，所述蒸镀装置包括主腔体及位于所述主腔体两侧的至少两个子腔体。所述子腔体用于提供蒸镀工艺中的蒸镀材料。本发明通过将至少一所述子腔体作为备用蒸镀源。当其中一个或一个以上的所述子腔体中的蒸镀材料耗尽时，另一所述子腔体中的备用蒸镀源开始工作，使蒸镀装置能连续镀膜，增加了蒸镀装置的产能。并且，减少了蒸镀装置的维修保养时间。