[发明专利]一种无人机电子芯片制造装备

摘要

本发明公开了一种无人机电子芯片制造装备，包括抛光机体，所述抛光机体内部上方设置有抛光组件，所述转台内侧均环形安装有抛光台，所述抛光台内侧中部开设有安装槽，所述安装槽内侧底部固定安装有活动拆卸台，所述活动拆卸台内侧边部均等距安装有紧固凸块，所述抛光台两侧边部均对称安装有夹持电磁铁，本发明结构科学合理，使用安全方便，通过安装槽、紧固凸块和夹持电磁铁等组件，便于将芯片晶圆牢固的进行夹持，使芯片晶圆在抛光过程中不产生偏动，进而保证了芯片晶圆的抛光精度，同时通过多个工位的夹持组件来同时夹持芯片晶圆，使多个晶圆能够同时能够进行抛光处理，提高了芯片晶圆的抛光效率，且操作简单方便。

主权项

1.一种无人机电子芯片制造装备，包括抛光机体(1)，其特征在于：所述抛光机体(1)外侧边部通过活页转动安装有屏蔽门(3)，且屏蔽门(3)内侧边部对称设置有把手(6)，所述屏蔽门(3)与抛光机体(1)的连接处设置有防尘胶层(2)，所述屏蔽门(3)内侧边部连接处粘结有密封胶边(4)，所述密封胶边(4)外侧设置有连合异性磁铁(5)，所述抛光机体(1)内部上方设置有抛光组件(7)，所述抛光组件(7)包括抛光马达(701)、固定架(702)、同步传动盘(703)、伸缩轴(704)和抛光头(705)，所述抛光机体(1)内部一侧边部固定安装有固定架(702)，所述固定架(702)上方通过螺丝固定安装有抛光马达(701)，所述抛光马达(701)底部下方通过同步传动盘(703)与伸缩轴(704)之间转动连接，所述伸缩轴(704)底部下方传动连接有抛光头(705)，所述抛光马达(701)的输入端与市电的输出端电性连接；所述固定架(702)底部一侧固定安装有润滑组件(8)，所述润滑组件(8)包括润滑油缸(801)、增压阀(802)、连接胶套(803)、导油管(804)和喷油嘴(805)，所述固定架(702)底部一侧通过螺丝固定安装有润滑油缸(801)，所述润滑油缸(801)顶部中端固定安装有增压阀(802)，所述增压阀(802)一侧中部通过连接胶套(803)与导油管(804)密封连接，所述导油管(804)远离增压阀(802)一端位置处固定连接有喷油嘴(805)。