[发明专利]一种无人机电子芯片制造装备

权利要求书

1.一种无人机电子芯片制造装备，包括抛光机体(1)，其特征在于：所述抛光机体(1)外侧边部通过活页转动安装有屏蔽门(3)，且屏蔽门(3)内侧边部对称设置有把手(6)，所述屏蔽门(3)与抛光机体(1)的连接处设置有防尘胶层(2)，所述屏蔽门(3)内侧边部连接处粘结有密封胶边(4)，所述密封胶边(4)外侧设置有连合异性磁铁(5)，所述抛光机体(1)内部上方设置有抛光组件(7)，所述抛光组件(7)包括抛光马达(701)、固定架(702)、同步传动盘(703)、伸缩轴(704)和抛光头(705)，所述抛光机体(1)内部一侧边部固定安装有固定架(702)，所述固定架(702)上方通过螺丝固定安装有抛光马达(701)，所述抛光马达(701)底部下方通过同步传动盘(703)与伸缩轴(704)之间转动连接，所述伸缩轴(704)底部下方传动连接有抛光头(705)，所述抛光马达(701)的输入端与市电的输出端电性连接；

所述固定架(702)底部一侧固定安装有润滑组件(8)，所述润滑组件(8)包括润滑油缸(801)、增压阀(802)、连接胶套(803)、导油管(804)和喷油嘴(805)，所述固定架(702)底部一侧通过螺丝固定安装有润滑油缸(801)，所述润滑油缸(801)顶部中端固定安装有增压阀(802)，所述增压阀(802)一侧中部通过连接胶套(803)与导油管(804)密封连接，所述导油管(804)远离增压阀(802)一端位置处固定连接有喷油嘴(805)；

所述抛光头(705)底部下方设置有转台(9)，所述转台(9)底部下方传动连接有驱动电机(10)，所述驱动电机(10)与转台(9)之间通过连接转轴(11)传动连接，所述转台(9)内侧均环形安装有夹持组件(12)，所述夹持组件(12)包括抛光台(1201)、安装槽(1202)、活动拆卸台(1203)、紧固凸块(1204)和夹持电磁铁(1205)，所述转台(9)内侧均环形安装有抛光台(1201)，所述抛光台(1201)内侧中部开设有安装槽(1202)，所述安装槽(1202)内侧底部固定安装有活动拆卸台(1203)，所述活动拆卸台(1203)内侧边部均等距安装有紧固凸块(1204)，所述抛光台(1201)两侧边部均对称安装有夹持电磁铁(1205)，所述驱动电机(10)的输入端与市电的输出端电性连接；

所述夹持组件(12)外侧边部均环形安装有注气组件(13)，所述注气组件(13)包括增压气缸(1301)、输气导管(1302)、喷头(1303)和喷气口(1304)，所述夹持组件(12)外侧边部固定安装有增压气缸(1301)，所述增压气缸(1301)内侧中部固定连接有输气导管(1302)，所述输气导管(1302)内侧端部固定安装有喷头(1303)，所述喷头(1303)外部均匀开设有喷气口(1304)，所述夹持组件(12)内侧边部固定安装有清理组件(14)，所述清理组件(14)包括导料槽(1401)、输料槽道(1402)和收集腔室(1403)，所述夹持组件(12)内侧边部均环形开设有导料槽(1401)，所述导料槽(1401)通过输料槽道(1402)与收集腔室(1403)之间固定连接；

所述抛光机体(1)底部下方固定支撑有支座，且支座的底面固定粘结有防滑垫片；

所述屏蔽门(3)内侧边部设置有透视窗；

所述抛光马达(701)与同步传动盘(703)之间通过同步传动带传动连接；

所述抛光台(1201)的安装数量为八个；

所述安装槽(1202)的内径等于晶圆的外径；

所述增压气缸(1301)与输气导管(1302)的连接处设置有防爆环箍。