[发明专利]氧化物剥落停止器在审

专利信息
申请号: 201811189071.5 申请日: 2018-10-12
公开(公告)号: CN109671682A 公开(公告)日: 2019-04-23
发明(设计)人: C.阿尔特斯泰特;O.布兰克;I.诺伊曼;R.罗特马勒 申请(专利权)人: 英飞凌科技奥地利有限公司
主分类号: H01L23/31 分类号: H01L23/31;H01L21/56;H01L21/78
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 陈晓;申屠伟进
地址: 奥地利*** 国省代码: 奥地利;AT
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摘要: 发明公开了氧化物剥落停止器。一种功率半导体管芯(100),具有:半导体主体(10);半导体主体(10)上的绝缘层(11);钝化结构(13),所述钝化结构(13)被布置在绝缘层(11)上方并且以使得暴露第一绝缘层子区段(1111),所述第一绝缘层子区段(1111)延伸到功率半导体管芯(100)的边缘(105);以及在第一绝缘层子区段(1111)中的中断结构(12)。
搜索关键词: 绝缘层 子区段 功率半导体管芯 半导体主体 钝化结构 停止器 氧化物 剥落 中断 暴露 延伸
【主权项】:
1.一种功率半导体管芯(100),具有:‑半导体主体(10);‑半导体主体(10)上的绝缘层(11);‑钝化结构(13),其被布置在绝缘层(11)上方并且以使得暴露第一绝缘层子区段(1111),所述第一绝缘层子区段(1111)延伸到功率半导体管芯(100)的边缘(105);以及‑第一绝缘层子区段(1111)中的中断结构(12)。
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