[发明专利]一种用于水膜刻蚀工艺的粘液滚轮有效
申请号: | 201811128140.1 | 申请日: | 2018-09-27 |
公开(公告)号: | CN109037123B | 公开(公告)日: | 2023-09-26 |
发明(设计)人: | 周守亮;张玉前;陈绍光;苏世杰;蒋卫朋 | 申请(专利权)人: | 通威太阳能(安徽)有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 李文渊 |
地址: | 230088 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种用于水膜刻蚀工艺的粘液滚轮,包括圆柱体,所述圆柱体中部垂直固定有若干片中部带液滚轮,所述圆柱体两端垂直固定有若干片端部带液轮盘,所述中部带液滚轮和端部带液轮盘的半径相同,所述中部带液滚轮和端部带液轮盘之间形成两个缺口,所述缺口中设置有多片间隙轮盘,所述间隙轮盘固定在圆柱体上,且多片间隙轮盘的半径依次增大或减小,且最大半径的间隙轮盘小于端部带液轮盘的半径。本发明通过多片带液轮盘的设置,不会出现由于螺纹旋向导致的液面和电池片在运动过程中,导致电池片在刻蚀槽上的运动速度降低的情况,还会接触到电池片边缘,避免了水膜破水的情况,实用性很强,非常值得推广。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 刻蚀 工艺 粘液 滚轮 | ||
【主权项】:
1.一种用于水膜刻蚀工艺的粘液滚轮,包括圆柱体(1),其特征在于:所述圆柱体(1)中部垂直固定有若干片中部带液滚轮(2),所述圆柱体(1)两端垂直固定有若干片端部带液轮盘(3),所述中部带液滚轮(2)和端部带液轮盘(3)的半径相同,所述中部带液滚轮(2)和端部带液轮盘(3)之间形成两个缺口(4),所述缺口(4)中设置有多片间隙轮盘(5),所述间隙轮盘(5)固定在圆柱体(1)上,多片间隙轮盘(5)的半径依次增大或减小,且最大半径的间隙轮盘(5)小于端部带液轮盘(3)的半径。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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