[发明专利]一种用于水膜刻蚀工艺的粘液滚轮

说明书

本发明公开了一种用于水膜刻蚀工艺的粘液滚轮，包括圆柱体，所述圆柱体中部垂直固定有若干片中部带液滚轮，所述圆柱体两端垂直固定有若干片端部带液轮盘，所述中部带液滚轮和端部带液轮盘的半径相同，所述中部带液滚轮和端部带液轮盘之间形成两个缺口，所述缺口中设置有多片间隙轮盘，所述间隙轮盘固定在圆柱体上，且多片间隙轮盘的半径依次增大或减小，且最大半径的间隙轮盘小于端部带液轮盘的半径。本发明通过多片带液轮盘的设置，不会出现由于螺纹旋向导致的液面和电池片在运动过程中，导致电池片在刻蚀槽上的运动速度降低的情况，还会接触到电池片边缘，避免了水膜破水的情况，实用性很强，非常值得推广。

技术领域

本发明涉及硅片刻蚀装置技术领域，具体为一种用于水膜刻蚀工艺的粘液滚轮。

背景技术

硅片刻蚀工艺为了实现更好的刻蚀效果，一般都会在刻蚀装置上安装水膜设备，但是由于水膜在刻蚀过程中，水膜容易发生破水现象，从而造成刻蚀线不良，影响硅片质量。

对刻蚀工具进行观察，发现水膜破水现象的发生主要是由于刻蚀槽内粘液滚轮的原因，如说明书附图1所示，原装粘液滚轮设计为一整根带有细小锋利螺纹形状的柱体，安装在刻蚀槽的最前端，设计成螺纹状的目的是为了硅片背面更好的粘液，防止背面因气泡或粘液不好造成刻不透，但是现有技术中粘液滚轮存在一个较为明显的缺陷：当硅片经过此粘液滚轮时，滚轮转动，螺纹带液偶尔会碰到硅片边缘，造成水膜破水，溶液爬到硅片表面造成过刻，从而影响硅片刻蚀质量，导致不良片的产生，大大降低了经济效益。

为了解决上述问题，现有技术中，申请号为“201721009203 .2”的一种水膜刻蚀工艺用粘液滚轮，如说明书附图2和附图3所示，包括圆柱体和螺纹套，所述圆柱体上套设有若干个螺纹套，且每两个螺纹套之间形成一个缺口，所述螺纹套与圆柱体活动连接，且每个缺口处的圆柱体上套设有圆柱套，所述圆柱体上开设有移动槽，所述螺纹套内壁上对应移动槽固定有移动块，所述圆柱套外径小于螺纹套外径。由于螺纹套是套设在圆柱体上的，所以螺纹套的直径较大，缺口处无螺纹的圆柱体直径较小，当硅片经过此滚轮处时，硅片边缘与缺口处无螺纹的圆柱体形成一个高度，这样硅片的边缘就不会与滚轮接触造成破水现象，大大降低了不良片的产生，减少了造片成本，值得推广。

但是上述该水膜刻蚀工艺用粘液滚轮在使用过程中，仍然存在以下较为明显的缺陷：1、采用螺纹的形式带动液面和电池片运动，由于螺纹有旋向，会导致液面和电池片在运动过程中发生朝着旋向方向的偏移，从而造成电池片的刻蚀效果变差；2、缺口的设置，导致同等长度的滚轮的带液效果变差，也就使得电池片在刻蚀槽上的运动速度降低，从而降低了同等时间内刻蚀电池片的数量，影响了生产效率；3、而且电池片下方的螺纹套，在使用过程中，可能会因为电池片运动时的偏移，仍然会带液碰到电池片边缘，造成水膜破水。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于水膜刻蚀工艺的粘液滚轮，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种用于水膜刻蚀工艺的粘液滚轮，包括圆柱体，所述圆柱体中部垂直固定有若干片中部带液滚轮，所述圆柱体两端垂直固定有若干片端部带液轮盘，所述中部带液滚轮和端部带液轮盘的半径相同，所述中部带液滚轮和端部带液轮盘之间形成两个缺口，所述缺口中设置有多片间隙轮盘，所述间隙轮盘固定在圆柱体上，且多片间隙轮盘的半径依次增大或减小，且最大半径的间隙轮盘小于端部带液轮盘的半径。

优选的，所述间隙轮盘边缘处开设有凹槽，所述凹槽中固定有固定轴，所述固定轴上转动连接有拨液块。

优选的，所述间隙轮盘靠近端部带液轮盘处的半径依次减小。

优选的，所述中部带液滚轮包括内圆板和斜弧板，所述斜弧板设置于内圆板外围，且斜弧板呈倾斜设置。

优选的，左边的中部带液滚轮上的斜弧板朝向右侧倾斜，右边的中部带液滚轮上的斜弧板朝向左侧倾斜。