[发明专利]一种用于水膜刻蚀工艺的粘液滚轮有效
| 申请号： | 201811128140.1 | 申请日： | 2018-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN109037123B | 公开（公告）日： | 2023-09-26 |
| 发明（设计）人： | 周守亮;张玉前;陈绍光;苏世杰;蒋卫朋 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能（安徽）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 李文渊 |
| 地址： | 230088 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 刻蚀 工艺 粘液 滚轮 | ||
1.一种用于水膜刻蚀工艺的粘液滚轮，包括圆柱体（1），其特征在于：所述圆柱体（1）中部垂直固定有若干片中部带液滚轮（2），所述圆柱体（1）两端垂直固定有若干片端部带液轮盘（3），所述中部带液滚轮（2）和端部带液轮盘（3）的半径相同，所述中部带液滚轮（2）和端部带液轮盘（3）之间形成两个缺口（4），所述缺口（4）中设置有多片间隙轮盘（5），所述间隙轮盘（5）固定在圆柱体（1）上，多片间隙轮盘（5）的半径依次增大或减小，且最大半径的间隙轮盘（5）小于端部带液轮盘（3）的半径；
所述间隙轮盘（5）边缘处开设有凹槽（6），所述凹槽（6）中固定有固定轴（7），所述固定轴（7）上转动连接有拨液块（8），间隙轮盘（5）靠近端部带液轮盘（3）处的半径依次减小，越靠近中部带液滚轮（2）的间隙轮盘（5）的半径越大，且最大半径的间隙轮盘（5）小于端部带液轮盘（3）的半径；
中部带液滚轮（2）包括内圆板（21）和斜弧板（22），斜弧板（22）设置于内圆板（21）外围，且斜弧板（22）呈倾斜设置，左边的中部带液滚轮（2）上的斜弧板（22）朝向右侧倾斜，右边的中部带液滚轮（2）上的斜弧板（22）朝向左侧倾斜，使得左侧中部带液滚轮（2）上的斜弧板（22）能够带液并且朝着右侧运动，右侧中部带液滚轮（2）上的斜弧板（22）能够带液并且朝着左侧运动，相对设置的斜弧板（22）能够带液朝着中部运动。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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