[发明专利]一种单晶炉晶棒定位装置在审
| 申请号： | 201811126618.7 | 申请日： | 2018-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN109023507A | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 杨光宇 | 申请（专利权）人： | 锐捷芯盛（天津）电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300000 天津市滨海新*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶炉晶棒定位装置，包括上炉筒和定位装置，所述定位装置设有两个，且两个定位装置对称固定在上炉筒两侧，所述定位装置外侧固定有驱动装置，所述定位装置由定位壳、固定板、滑杆、丝杆、套筒和定位板组成，所述定位壳固定在上炉筒外壁上，且定位壳一侧与驱动装置固定，所述丝杆位于套筒内部，且套筒一端外侧与固定板固定，所述滑杆一端与上炉筒外壁固定，且另一端贯穿固定板并与固定板滑动连接，所述滑杆设有两个，本发明调节板通过调节弹簧可以在凸型槽内伸缩，满足对直径范围在正负2mm的之间的晶棒进行定位，在定位过程中更加有效的对晶棒起一个保护作用。 | ||
| 搜索关键词： | 定位装置 固定板 上炉筒 晶棒 定位壳 滑杆 套筒 驱动装置 单晶炉 丝杆 外壁 定位过程 对称固定 滑动连接 调节板 定位板 凸型槽 伸缩 弹簧 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种单晶炉晶棒定位装置，包括上炉筒(1)和定位装置(2)，其特征在于：所述定位装置(2)设有两个，且两个定位装置(2)对称固定在上炉筒(1)两侧，所述定位装置(2)外侧固定有驱动装置(3)，所述定位装置(2)由定位壳(4)、固定板(5)、滑杆(6)、丝杆(7)、套筒(8)和定位板(9)组成，所述定位壳(4)固定在上炉筒(1)外壁上，且定位壳(4)一侧与驱动装置(3)固定，所述丝杆(7)位于套筒(8)内部，且套筒(8)一端外侧与固定板(5)固定，所述滑杆(6)一端与上炉筒(1)外壁固定，且另一端贯穿固定板(5)并与固定板(5)滑动连接，所述滑杆(6)设有两个，且两个滑杆(6)对称分布在套筒(8)两侧，所述套筒(8)滑动贯穿上炉筒(1)，且套在丝杆(7)外侧，所述套筒(8)内设有内螺纹，且与丝杆(7)螺纹连接。
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