[发明专利]一种单晶炉晶棒定位装置在审

专利信息
申请号: 201811126618.7 申请日: 2018-09-26
公开(公告)号: CN109023507A 公开(公告)日: 2018-12-18
发明(设计)人: 杨光宇 申请(专利权)人: 锐捷芯盛(天津)电子科技有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 300000 天津市滨海新*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 定位装置 固定板 上炉筒 晶棒 定位壳 滑杆 套筒 驱动装置 单晶炉 丝杆 外壁 定位过程 对称固定 滑动连接 调节板 定位板 凸型槽 伸缩 弹簧 贯穿
【权利要求书】:

1.一种单晶炉晶棒定位装置,包括上炉筒(1)和定位装置(2),其特征在于:所述定位装置(2)设有两个,且两个定位装置(2)对称固定在上炉筒(1)两侧,所述定位装置(2)外侧固定有驱动装置(3),所述定位装置(2)由定位壳(4)、固定板(5)、滑杆(6)、丝杆(7)、套筒(8)和定位板(9)组成,所述定位壳(4)固定在上炉筒(1)外壁上,且定位壳(4)一侧与驱动装置(3)固定,所述丝杆(7)位于套筒(8)内部,且套筒(8)一端外侧与固定板(5)固定,所述滑杆(6)一端与上炉筒(1)外壁固定,且另一端贯穿固定板(5)并与固定板(5)滑动连接,所述滑杆(6)设有两个,且两个滑杆(6)对称分布在套筒(8)两侧,所述套筒(8)滑动贯穿上炉筒(1),且套在丝杆(7)外侧,所述套筒(8)内设有内螺纹,且与丝杆(7)螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉晶棒定位装置,其特征在于:所述定位板(9)内开有凸型槽(10),且凸型槽(10)内设有调节件(11),所述调节件(11)由调节板(12)、调节弹簧(13)、接触柱(14)和转轴(15)组成,所述调节弹簧(13)设有多个,且均匀分布在凸型槽(10)内,所述调节板(12)一侧通过调节弹簧(13)与凸型槽(10)内壁固定,所述调节板(12)远离调节弹簧(13)一侧开有接触槽(16),所述接触柱(14)固定套接在转轴(15)外侧,且转轴(15)两端通过轴承与接触槽(16)内壁转动连接。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉晶棒定位装置,其特征在于:所述驱动装置(3)由驱动电机(17)、电机台(18)、转动轴(19)、带动轴(20)、主动锥齿轮(21)、从动锥齿轮(22)和软轴(23)组成,所述驱动电机(17)通过电机台(18)固定在定位壳(4)一侧,且驱动电机(17)输出端与转动轴(19)固定,所述转动轴(19)和带动轴(20)外侧均与主动锥齿轮(21)固定,且主动锥齿轮(21)与从动锥齿轮(22)啮合,所述从动锥齿轮(22)设有两个,且分别固定套接在两个丝杆(7)一端外侧,所述软轴(23)两端均通过联轴器分别与转动轴(19)和带动轴(20)固定。

4.根据权利要求2所述的一种单晶炉晶棒定位装置,其特征在于:所述接触柱(14)外侧设为弧形。

5.根据权利要求3所述的一种单晶炉晶棒定位装置,其特征在于:所述带动轴(20)远离从动锥齿轮(22)一端通过轴承与定位壳(4)转动连接。

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