[发明专利]一种单晶炉晶棒定位装置

说明书

本发明公开了一种单晶炉晶棒定位装置，包括上炉筒和定位装置，所述定位装置设有两个，且两个定位装置对称固定在上炉筒两侧，所述定位装置外侧固定有驱动装置，所述定位装置由定位壳、固定板、滑杆、丝杆、套筒和定位板组成，所述定位壳固定在上炉筒外壁上，且定位壳一侧与驱动装置固定，所述丝杆位于套筒内部，且套筒一端外侧与固定板固定，所述滑杆一端与上炉筒外壁固定，且另一端贯穿固定板并与固定板滑动连接，所述滑杆设有两个，本发明调节板通过调节弹簧可以在凸型槽内伸缩，满足对直径范围在正负2mm的之间的晶棒进行定位，在定位过程中更加有效的对晶棒起一个保护作用。

技术领域

本发明涉及单晶硅生产设备技术领域，具体为一种单晶炉晶棒定位装置。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。

在用直拉法制造单晶体时，其过程中会经过熔化→缩颈生长→放肩生长→等径生长→尾部生长再形成需要的晶棒，在这个过程中我们需要对晶棒进行定位，防止晶棒与上炉体内壁碰撞，造成损坏，但由于晶棒在等径生长时其直径变化在正负2mm的之间，而现有的定位装置采用紧固方式来实现定位，在生产过程中会对晶棒造成损坏，为此，我们提出一种单晶炉晶棒定位装置。

发明内容

本发明的目的在于提供一种单晶炉晶棒定位装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种单晶炉晶棒定位装置，包括上炉筒和定位装置，所述定位装置设有两个，且两个定位装置对称固定在上炉筒两侧，所述定位装置外侧固定有驱动装置，所述定位装置由定位壳、固定板、滑杆、丝杆、套筒和定位板组成，所述定位壳固定在上炉筒外壁上，且定位壳一侧与驱动装置固定，所述丝杆位于套筒内部，且套筒一端外侧与固定板固定，所述滑杆一端与上炉筒外壁固定，且另一端贯穿固定板并与固定板滑动连接，所述滑杆设有两个，且两个滑杆对称分布在套筒两侧，所述套筒滑动贯穿上炉筒，且套在丝杆外侧，所述套筒内设有内螺纹，且与丝杆螺纹连接。

优选的，所述定位板内开有凸型槽，且凸型槽内设有调节件，所述调节件由调节板、调节弹簧、接触柱和转轴组成，所述调节弹簧设有多个，且均匀分布在凸型槽内，所述调节板一侧通过调节弹簧与凸型槽内壁固定，所述调节板远离调节弹簧一侧开有接触槽，所述接触柱固定套接在转轴外侧，且转轴两端通过轴承与接触槽内壁转动连接。

优选的，所述驱动装置由驱动电机、电机台、转动轴、带动轴、主动锥齿轮、从动锥齿轮和软轴组成，所述驱动电机通过电机台固定在定位壳一侧，且驱动电机输出端与转动轴固定，所述转动轴和带动轴外侧均与主动锥齿轮固定，且主动锥齿轮与从动锥齿轮啮合，所述从动锥齿轮设有两个，且分别固定套接在两个丝杆一端外侧，所述软轴两端均通过联轴器分别与转动轴和带动轴固定。

优选的，所述接触柱外侧设为弧形。

优选的，所述带动轴远离从动锥齿轮一端通过轴承与定位壳转动连接。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、本发明调节板通过调节弹簧可以在凸型槽内伸缩，满足对直径范围在正负2mm的之间的晶棒进行定位，在定位过程中更加有效的对晶棒起一个保护作用，在使用本发明时，通过驱动电机转动，带动与之输出端固定的转动轴转动，由于转动轴外侧固定有主动锥齿轮，且主动锥齿轮与从动锥齿轮啮合，所以带动与从动锥齿轮固定的丝杆转动，又因为套筒套在丝杆外侧，且套筒内设有内螺纹与丝杆螺纹连接，丝杆转动带动套筒在丝杆上运动，从而推动定位板向晶棒接触，从而开始对晶棒定位时，又因为晶棒在生长过程中直径会在正负2mm的之间变化，所以调节板必须跟着晶棒直径变化而发生改变，否则会损坏晶棒，在接触柱与晶棒接触时，因为调节板一侧通过调节弹簧与凸型槽固定，所以调节板可以在凸型槽内伸缩，在定位过程中更加有效的对晶棒起一个保护作用。