[发明专利]气体推断装置及真空排气装置

摘要

本发明提供一种气体推断装置，其能够根据排气的气体种类来控制自动压力调整阀。气体推断装置包括：存储部(42)，存储第1相关数据及第2相关数据(GDU3)，所述第1相关数据包含与所述自动压力调整阀的开度控制增益值相关的相关数据(GDU1)及与真空排气装置的实效排气速度相关的相关数据(GDU2)，所述第2相关数据(GDU3)表示真空泵中的流量、气体种类及马达电流值之间的相关关系；以及第1推断部(411)，基于真空泵的马达电流值(Ir)、自动压力调整阀的阀开度(θr)、利用真空排气装置来真空排气的真空腔室的压力测量值(Pr)、第1相关数据及第2相关数据，来推断利用真空排气装置来真空排气的气体的流量(Qest2)及气体种类(Mest2)。

主权项

1.一种气体推断装置，其推断利用真空排气装置来真空排气的气体的流量及气体种类，所述真空排气装置包括真空泵、以及连接于所述真空泵的吸气口的自动压力调整阀，所述气体推断装置的特征在于包括：相关数据存储部，存储第1相关数据及第2相关数据，所述第1相关数据包含与所述自动压力调整阀的开度控制增益值相关的相关数据及与所述真空排气装置的实效排气速度相关的相关数据，所述第2相关数据表示所述真空泵中的流量、气体种类及马达电流值之间的相关关系；以及第1推断部，至少基于所述第1相关数据及所述第2相关数据，来推断利用所述真空排气装置来真空排气的气体的流量及气体种类，与所述开度控制增益值相关的相关数据表示所述开度控制增益值、利用所述真空排气装置来真空排气的气体的气体种类与流量、及所述自动压力调整阀的阀开度之间的相关关系，与所述实效排气速度相关的相关数据表示所述实效排气速度、利用所述真空排气装置来真空排气的气体的气体种类与流量、及所述自动压力调整阀的阀开度之间的相关关系，所述气体推断装置基于所述第1推断部的推断结果来输出用于所述自动压力调整阀的控制的控制修正信息。