[发明专利]气体推断装置及真空排气装置

说明书

本发明提供一种气体推断装置，其能够根据排气的气体种类来控制自动压力调整阀。气体推断装置包括：存储部(42)，存储第1相关数据及第2相关数据(GDU3)，所述第1相关数据包含与所述自动压力调整阀的开度控制增益值相关的相关数据(GDU1)及与真空排气装置的实效排气速度相关的相关数据(GDU2)，所述第2相关数据(GDU3)表示真空泵中的流量、气体种类及马达电流值之间的相关关系；以及第1推断部(411)，基于真空泵的马达电流值(Ir)、自动压力调整阀的阀开度(θr)、利用真空排气装置来真空排气的真空腔室的压力测量值(Pr)、第1相关数据及第2相关数据，来推断利用真空排气装置来真空排气的气体的流量(Qest2)及气体种类(Mest2)。

技术领域

本发明涉及一种气体推断装置及真空排气装置。

背景技术

在蚀刻装置等真空装置中，一边使工艺气体流入至工艺腔室，一边将腔室内压力维持为规定的压力来进行工艺。因此，在工艺腔室与真空泵之间设置有自动压力调整阀(也称为APC(automatic pressure control)阀)，并利用此自动压力调整阀将工艺腔室的压力控制为所期望的压力(例如，参照专利文献1)。

在利用包括真空泵及自动压力调整阀的真空排气装置对工艺腔室进行排气的情况下，预先将真空排气装置的排气特性数据存储于自动压力调整阀的控制器中，并基于此排气特性数据进行自动压力调整阀的调压动作。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2014-093497号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

然而，预先存储的排气特性数据一般是基于与实际使用的工艺气体不同的标准气体(例如，氮气或氩气)的数据。排气特性数据也依存于气体种类，因此存在若排出的气体的气体种类不明确，则不能进行精度良好的压力调整的问题。

[解决问题的技术手段]

本发明的优选实施方式的气体推断装置是推断利用真空排气装置来真空排气的气体的流量及气体种类的气体推断装置，所述真空排气装置包括真空泵、以及连接于所述真空泵的吸气口的自动压力调整阀，所述气体推断装置包括：相关数据存储部，存储第1相关数据及第2相关数据，所述第1相关数据包含与所述自动压力调整阀的开度控制增益值相关的相关数据及与所述真空排气装置的实效排气速度相关的相关数据，所述第2相关数据表示所述真空泵中的流量、气体种类及马达电流值之间的相关关系；以及第1推断部，至少基于所述第1相关数据及所述第2相关数据，来推断利用所述真空排气装置来真空排气的气体的流量及气体种类，与所述开度控制增益值相关的相关数据表示所述开度控制增益值、利用所述真空排气装置来真空排气的气体的气体种类与流量、及所述自动压力调整阀的阀开度之间的相关关系，与所述实效排气速度相关的相关数据表示所述实效排气速度、利用所述真空排气装置来真空排气的气体的气体种类与流量、及所述自动压力调整阀的阀开度之间的相关关系，所述气体推断装置基于所述第1推断部的推断结果来输出用于所述自动压力调整阀的控制的控制修正信息。

在更优选的实施方式中，所述第1推断部基于所述真空泵的马达电流值、所述自动压力调整阀的阀开度、利用所述真空排气装置来真空排气的真空腔室的压力测量值、所述第1相关数据及所述第2相关数据，来推断利用所述真空排气装置来真空排气的气体的流量及气体种类，且所述气体推断装置输出所述第1推断部的推断结果作为所述控制修正信息。

在更优选的实施方式中，所述气体推断装置包括：第2推断部，基于规定流量的气体排气时的多个阀开度各自的压力测量值、所述多个阀开度、所述真空泵的马达电流值、所述第1相关数据及所述第2相关数据来推断利用所述真空排气装置来真空排气的气体的流量及气体种类；以及校正部，基于由所述第2推断部推断的气体种类来校正所述第1相关数据，且存储于所述相关数据存储部的校正前的所述第1相关数据被经所述校正部校正的第1相关数据替换。