[发明专利]气体推断装置及真空排气装置

权利要求书

1.一种气体推断装置，其推断利用真空排气装置来真空排气的气体的流量及气体种类，所述真空排气装置包括真空泵、以及连接于所述真空泵的吸气口的自动压力调整阀，所述气体推断装置的特征在于包括：

相关数据存储部，存储第1相关数据及第2相关数据，所述第1相关数据包含与所述自动压力调整阀的开度控制增益值相关的相关数据及与所述真空排气装置的实效排气速度Se相关的相关数据，所述实效排气速度Se是根据所述真空泵的排气速度Sp与所述自动压力调整阀的流导C以满足下式来定义的:(1/Se)＝(1/Sp)+(1/C)，且所述第2相关数据表示所述真空泵中的流量、气体种类及马达电流值之间的相关关系；以及

第1推断部，至少基于所述第1相关数据及所述第2相关数据，来推断利用所述真空排气装置来真空排气的气体的流量及气体种类，

与所述开度控制增益值相关的相关数据表示所述开度控制增益值、利用所述真空排气装置来真空排气的气体的气体种类与流量、及所述自动压力调整阀的阀开度之间的相关关系，

与所述实效排气速度相关的相关数据表示所述实效排气速度、利用所述真空排气装置来真空排气的气体的气体种类与流量、及所述自动压力调整阀的阀开度之间的相关关系，

所述气体推断装置基于所述第1推断部的推断结果来输出用于所述自动压力调整阀的控制的控制修正信息。

2.根据权利要求1所述的气体推断装置，其特征在于，

所述第1推断部基于所述真空泵的马达电流值、所述自动压力调整阀的阀开度、利用所述真空排气装置来真空排气的真空腔室的压力测量值、所述第1相关数据及所述第2相关数据，来推断利用所述真空排气装置来真空排气的气体的流量及气体种类，

所述气体推断装置输出所述第1推断部的推断结果作为所述控制修正信息。

3.根据权利要求2所述的气体推断装置，其特征在于包括：

第2推断部，基于规定流量的气体排气时的多个阀开度各自的压力测量值、所述多个阀开度、所述真空泵的马达电流值、所述第1相关数据及所述第2相关数据，来推断利用所述真空排气装置来真空排气的气体的流量及气体种类；以及

校正部，基于由所述第2推断部推断的气体种类来校正所述第1相关数据，

存储于所述相关数据存储部的校正前的所述第1相关数据被经所述校正部校正的第1相关数据替换。

4.根据权利要求3所述的气体推断装置，其特征在于包括：

判定部，基于由所述第2推断部推断的流量，对所述多个阀开度各自的压力测量时的流量是否为所述规定流量进行判定。

5.根据权利要求1所述的气体推断装置，其特征在于，

所述第1推断部基于规定流量的气体排气时的多个阀开度各自的压力测量值、所述多个阀开度、所述真空泵的马达电流值、所述第1相关数据及所述第2相关数据，来推断利用所述真空排气装置来真空排气的气体的流量及气体种类，

所述气体推断装置进而包括校正部，基于由所述第1推断部推断的气体种类来校正所述第1相关数据，且

输出经所述校正部校正的校正后第1相关数据作为所述控制修正信息。

6.一种真空排气装置，其特征在于包括：根据权利要求2至4中任一项所述的气体推断装置；

真空泵；以及

自动压力调整阀，连接于所述真空泵的吸气口侧，

所述自动压力调整阀包括：

开度测量器，测量阀开度；

增益值设定部，基于由所述第1推断部推断的流量及气体种类与阀开度测量值、以及存储于所述相关数据存储部的第1相关数据来设定调压时的阀开度控制的增益值；以及

阀开度控制部，基于所设定的增益值与所述压力测量值来控制阀开度。