[发明专利]承载装置及承载装置的固定方法有效
| 申请号： | 201811118597.4 | 申请日： | 2018-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN109164681B | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 王威 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供的承载装置及承载装置的固定方法，包括：本体；以及电磁铁固定模块，电磁铁固定模块设置在本体上；其中，电磁铁固定模块用于固定承载装置，本申请采用电磁铁固定模块固定承载装置，可以避免曝光机的机械臂从承载装置上取放掩膜板时，因承载装置的晃动导致整个曝光机宕机，进而提升产能。 | ||
| 搜索关键词： | 承载 装置 固定 方法 | ||
【主权项】：
1.一种承载装置，其特征在于，包括：本体；以及电磁铁固定模块，所述电磁铁固定模块设置在所述本体上；其中，所述电磁铁固定模块用于固定所述承载装置。
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