[发明专利]承载装置及承载装置的固定方法有效
| 申请号: | 201811118597.4 | 申请日: | 2018-09-19 |
| 公开(公告)号: | CN109164681B | 公开(公告)日: | 2020-09-08 |
| 发明(设计)人: | 王威 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
| 地址: | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 承载 装置 固定 方法 | ||
本申请提供的承载装置及承载装置的固定方法,包括:本体;以及电磁铁固定模块,电磁铁固定模块设置在本体上;其中,电磁铁固定模块用于固定承载装置,本申请采用电磁铁固定模块固定承载装置,可以避免曝光机的机械臂从承载装置上取放掩膜板时,因承载装置的晃动导致整个曝光机宕机,进而提升产能。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,具体涉及一种承载装置及承载装置的固定方法。
背景技术
在显示面板制造领域,光刻工艺是必不可少的核心工艺,通常包括涂布光刻胶、曝光、显影和刻蚀等工艺,其中,在曝光工序中,需要使用到掩膜板,而掩膜板则需要台车等运输工具将其运送到曝光机的机台内部,才能进行后续流程。
目前,台车等运输工具将掩膜板送入曝光机的机台内部后,通常采用脚刹固定,以避免曝光机的机械臂从台车等运输工具上取放掩膜板时晃动。然而,曝光机机台内部为环氧地面,水平度不一致,而台车等运输工具的脚刹会存在不同程度的刹车悬空状态。当曝光机的机械臂从台车等运输工具上取放掩膜板时,若曝光机的机械臂与台车等运输工具的接触部位存在细微阻挡,而此时脚刹处于悬空状态,就会造成台车等运输工具有微动,传感器无法感应到,进而导致曝光机宕机,造成产能的流失。
因此,现有技术存在缺陷,急需改进。
发明内容
本申请实施例提供一种承载装置,通过在承载装置上设置电磁铁固定模块,可以避免承载装置晃动。
本申请实施例提供了一种承载装置,包括:
本体;以及
电磁铁固定模块,所述电磁铁固定模块设置在所述本体上;其中,所述电磁铁固定模块用于固定所述承载装置。
在本申请实施例所提供的承载装置中,所述电磁铁固定模块包括设置在所述本体一侧的第一电磁铁固定子模块,以及设置在所述本体另一侧的第二电磁铁固定子模块。
在本申请实施例所提供的承载装置中,所述第一电磁铁固定子模块与所述第二电磁铁固定子模块相对设置。
在本申请实施例所提供的承载装置中,所述第一电磁铁固定子模块与所述第二电磁铁固定子模块错位设置。
在本申请实施例所提供的承载装置中,所述本体一侧设置有第一伸缩臂,所述本体另一侧设置有第二伸缩臂,其中,所述第一伸缩臂与所述第一电磁铁固定子模块连接,所述第二伸缩臂与所述第二电磁铁固定子模块连接。
在本申请实施例所提供的承载装置中,所述本体一侧形成有第一容纳槽,所述本体另一侧形成有第二容纳槽,其中,所述第一容纳槽用于容纳所述第一伸缩臂和所述第一电磁铁固定子模块,所述第二容纳槽用于容纳所述第二伸缩臂和所述第二电磁铁固定子模块。
在本申请实施例所提供的承载装置中,所述第一伸缩臂的伸缩长度大于所述第一容纳槽的深度,所述第二伸缩臂的伸缩长度大于所述第二容纳槽的深度。
在本申请实施例所提供的承载装置中,所述电磁铁固定模块采用螺纹连接的方式固定在所述本体上。
在本申请实施例所提供的承载装置中,所述本体上设置有供电模块,所述供电模块用于向所述电磁铁固定模块提供电压,以使得所述电磁铁固定模块通电后产生磁性。
本申请实施例还提供了一种承载装置的固定方法,用于本申请任一实施例的承载装置,包括:
检测是否接收到对预设按钮的触发操作;
若接收到对预设按钮的触发操作,则对电磁铁固定模块通电,所述电磁铁固定模块产生磁性,以使所述承载装置固定。
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