[发明专利]承载装置及承载装置的固定方法

权利要求书

1.一种承载装置，其特征在于，所述承载装置用于承载掩模板，并将所述掩模板运送到曝光机的机台内部，包括：

本体；以及

电磁铁固定模块，所述电磁铁固定模块设置在所述本体上；其中，所述电磁铁固定模块用于固定所述承载装置，其中，所述电磁铁固定模块包括设置在所述本体一侧的第一电磁铁固定子模块，以及设置在所述本体另一侧的第二电磁铁固定子模块，所述本体一侧设置有第一伸缩臂，所述本体另一侧设置有第二伸缩臂，所述第一伸缩臂与所述第一电磁铁固定子模块连接，所述第二伸缩臂与所述第二电磁铁固定子模块连接；所述本体一侧形成有第一容纳槽，所述本体另一侧形成有第二容纳槽，其中，所述第一容纳槽用于容纳所述第一伸缩臂和所述第一电磁铁固定子模块，所述第二容纳槽用于容纳所述第二伸缩臂和所述第二电磁铁固定子模块。

2.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述第一电磁铁固定子模块与所述第二电磁铁固定子模块相对设置。

3.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述第一电磁铁固定子模块与所述第二电磁铁固定子模块错位设置。

4.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述第一伸缩臂的伸缩长度大于所述第一容纳槽的深度，所述第二伸缩臂的伸缩长度大于所述第二容纳槽的深度。

5.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述本体上设置有供电模块，所述供电模块用于向所述电磁铁固定模块提供电压，以使得所述电磁铁固定模块通电后产生磁性。

6.一种承载装置的固定方法，用于如权利要求1-5任一项所述的承载装置，其特征在于，包括：

检测是否接收到对预设按钮的触发操作；

若接收到对预设按钮的触发操作，则对电磁铁固定模块通电，所述电磁铁固定模块产生磁性，以使所述承载装置固定。