[发明专利]关键尺寸的控制方法及控制系统在审
| 申请号： | 201811102011.5 | 申请日： | 2018-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN110928149A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/40 | 分类号： | G03F7/40 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 罗泳文 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种关键尺寸的控制方法及控制系统，控制系统包括：第一数据库，用以提供光刻胶的显影延迟时间与关键尺寸的变异值的对应关系，同时收集存储产线上的光刻胶的实际显影延迟时间；变异值计算单元，用于实际显影延迟时间，从第一数据库中获得显影后光刻胶的关键尺寸的变异值；第二数据库，用于提供修剪时间与修剪值的对应关系；修剪时间计算单元，用于依据变异值，从第二数据库中获得光刻胶所需的修剪时间；修剪站，用于依据所需的修剪时间，对光刻胶进行修剪，以调整其关键尺寸。本发明可自动计算出由于显影延迟导致的光刻胶的关键尺寸的变异值及所需的相应修剪时间，并设立修剪站对光刻胶进行修剪，从而实现关键尺寸的稳定度控制。 | ||
| 搜索关键词： | 关键 尺寸 控制 方法 控制系统 | ||
【主权项】：
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