[发明专利]一种真空磁控溅射设备的可程序挡板在审
| 申请号： | 201811089115.7 | 申请日： | 2018-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN109023281A | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 林孟君 | 申请（专利权）人： | 华泰（桐乡）玻璃明镜有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54;C23C14/04 |
| 代理公司： | 安化县梅山专利事务所 43005 | 代理人： | 夏赞希 |
| 地址： | 314500 浙江省嘉兴市桐乡经济开发*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空磁控溅射设备的可程序挡板，主要是在真空磁控溅射设备中装置一挡板，该挡板装置于推杆上，由致动器驱动推顶，使挡板可左右移动，其致动器以控制线连接可程控器，再借由可程控器所载入的控制程序来驱动；借此，当真空磁控溅射设备中靶材在使用时，只要控制玻璃输送的速度即可控制玻璃金属膜层单方向性的厚度及图案的成型，在其侧方向性的厚度及图案则可借由挡板的移动来完成，这种透过可程控器来控制挡板移动量的方法，即可在玻璃表面形成各种不同的图案，且可程控器可借由信息传输线连接计算机等下载各式图案程序，是目前玻璃金属膜层成型技术中最具新颖性的发明。 | ||
| 搜索关键词： | 挡板 真空磁控溅射设备 可程控器 金属膜层 图案 控制程序 推杆 可左右移动 信息传输线 致动器驱动 玻璃 玻璃表面 玻璃输送 成型技术 单方向性 挡板装置 控制挡板 图案程序 控制线 新颖性 移动量 致动器 靶材 推顶 下载 成型 载入 驱动 计算机 移动 | ||
【主权项】：
1.一种真空磁控溅射设备的可程序挡板，包括：一挡板，装置于推杆上由致动器驱动推顶，使挡板可左右移动；及一推杆，连接致动器动作，一端连接挡板可左右推顶；及一致动器，以控制线连接可程控器，连接推杆可前后推顶；及一控制线，连接可程控器与致动器；及一可程控器，可借由信息传输线连接计算机下载程序，并以控制线连接驱动致动器推顶挡板；及一信息传输线，连接可程控器与计算机等信息设备。
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