[发明专利]一种真空磁控溅射设备的可程序挡板

说明书

本发明公开了一种真空磁控溅射设备的可程序挡板，主要是在真空磁控溅射设备中装置一挡板，该挡板装置于推杆上，由致动器驱动推顶，使挡板可左右移动，其致动器以控制线连接可程控器，再借由可程控器所载入的控制程序来驱动；借此，当真空磁控溅射设备中靶材在使用时，只要控制玻璃输送的速度即可控制玻璃金属膜层单方向性的厚度及图案的成型，在其侧方向性的厚度及图案则可借由挡板的移动来完成，这种透过可程控器来控制挡板移动量的方法，即可在玻璃表面形成各种不同的图案，且可程控器可借由信息传输线连接计算机等下载各式图案程序，是目前玻璃金属膜层成型技术中最具新颖性的发明。

技术领域

本发明涉及磁控溅射设备配件领域，具体涉及一种真空磁控溅射设备的可程序挡板。

背景技术

目前真空磁控溅射设备在控制单向图案的方式均以控制玻璃输送速度或靶的电流来完成，其成品之图案都是单向的，而且目前的真空磁控溅射金属膜层设备均仅能于玻璃表面金属膜层做单向单一厚度的处理，并无多重厚度多图案变化的处理方法，这一问题至今仍无发解决。

发明内容

本发明的目的在于解决上述问题，提供一种真空磁控溅射设备的可程序挡板。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种真空磁控溅射设备的可程序挡板，包括：

一挡板，装置于推杆上由致动器驱动推顶，使挡板可左右移动；及一推杆，连接致动器动作，一端连接挡板可左右推顶；及

一致动器，以控制线连接可程控器，连接推杆可前后推顶；及

一控制线，连接可程控器与致动器；及

一可程控器，可借由信息传输线连接计算机下载程序，并以控制线连接驱动致动器推顶挡板；及

一信息传输线，连接可程控器与计算机等信息设备。

进一步地，所述挡板为一个以上。

本发明主要是在真空磁控溅射设备中装置一挡板，该挡板装置于推杆上，由致动器驱动推顶，使挡板可左右移动，其致动器以控制线连接可程控器，再借由可程控器所载入的控制程序来驱动；借此，当真空磁控溅射设备中靶材在使用时，只要控制玻璃输送的速度即可控制玻璃金属膜层单方向性的厚度及图案的成型，在其侧方向性的厚度及图案则可借由挡板的移动来完成，这种透过可程控器来控制挡板移动量的方法，即可在玻璃表面形成各种不同的图案，且可程控器可借由信息传输线连接计算机等下载各式图案程序，是目前玻璃金属膜层成型技术中最具新颖性的发明。

附图说明

图1为本发明的立体结构示意图；

图2为本发明的实施方式示意图。

图中：1-档板，2-推杆，3-致动器，4-控制线，5-可程控器6-信息传输线，7-真空磁控溅射设备，8-靶材，9-玻璃。

具体实施方式

为了使本发明实现的技术手段，下面结合具体图示，进一步阐述本发明。

如图1-2所示，本发明的一种真空磁控溅射设备之可程序挡板，主要是在真空磁控溅射设备中具有一档板1，该档板1装置于推杆2上由致动器3驱动推顶，使挡板1可左右移动，其致动器3以控制线4连接可程控器5，再借由可程控器5所载入的控制程序来驱动挡板移动，借此当真空磁控溅射设备7中靶材8使用时，只要控制玻璃9输送速度或靶的电流即可控制玻璃9的金属膜层单方向性的厚度及图案的成型，在其侧方向性的厚度及图案控制则可借由档板1的移动来完成，此透过可程控器5来控制挡板1移动量之方法，即可在玻璃9表面形成各种不同之图案，且可程控器5可借由信息传输线6连接计算机等下载各式图案程序。

上述实施例，仅为说明本发明之较佳实施方式，而非限制本发明的范围，凡经由些微修饰、变更，仍不失本发明的要义所在，亦不脱本发明的范畴。