[发明专利]加工装置有效
| 申请号： | 201811079560.5 | 申请日： | 2018-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN109531428B | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 现王园二郎;刘乃力 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B24B55/02 | 分类号： | B24B55/02;B24B7/22;B24B41/06;B24B37/10;B24B37/30 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于靖帅;乔婉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供加工装置，不调整带张力便能够进行冷却机构的更换和追加，并且能够缩短作业时间。加工装置(1)具有对晶片(W)进行保持的保持单元(2)，保持单元具有：保持工作台(20)，其对晶片进行保持；旋转轴(21)，其使保持工作台旋转；电动机(24)，其使旋转轴旋转；传递单元(25)，其将电动机的旋转力传递至旋转轴；以及冷却套(27)，其对电动机托架(26)进行冷却，冷却套与电动机托架接触并且在内部具有流通冷却水(8)的冷却水路(272)，因此不将电动机托架与电动机一起从例如装置基台(10)取下而能够容易地进行冷却套相对于电动机托架的装卸。由此，不需要进行带张力的调整，能够缩短作业时间。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 装置 | ||
【主权项】：
1.一种加工装置，其具有：对晶片进行保持的保持单元；以及对该晶片进行加工的加工单元，其中，该保持单元具有：保持工作台，其对晶片进行保持；旋转轴，其以该保持工作台的中心为轴进行旋转；保持基座，其被支承于装置基台，将该旋转轴支承为旋转自如；作为该旋转轴的旋转动力源的电动机，其借助板状的电动机托架而配设于该保持基座或装置基台；传递单元，其将该电动机的旋转力传递至该旋转轴；以及冷却套，其对该电动机托架进行冷却，该冷却套与该电动机托架接触并且在内部具有流通冷却水的冷却水路。
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