[发明专利]加工装置

权利要求书

1.一种加工装置，其具有：

对晶片进行保持的保持单元；以及

对该晶片进行加工的加工单元，

其中，

该保持单元具有：

保持工作台，其对晶片进行保持；

旋转轴，其以该保持工作台的中心为轴进行旋转；

保持基座，其被支承于装置基台，将该旋转轴支承为旋转自如；

作为该旋转轴的旋转动力源的电动机，其借助板状的电动机托架而配设于该保持基座或装置基台；

传递单元，其将该电动机的旋转力传递至该旋转轴；以及

冷却套，其对该电动机托架进行冷却，

该装置基台具有内螺纹孔，

该电动机托架具有与该内螺纹孔对应的长孔，

该冷却套形成为围绕该电动机的外侧面并与该电动机托架接触的U型，该冷却套具有：冷却水路，其在内部流通冷却水；该冷却水路的流入口，其配设在该U型的一端；该冷却水路的流出口，其配设在该U型的另一端；以及两个插入孔，它们分别形成在该一端侧和该另一端侧并且供螺钉贯通，

使贯通了该插入孔的螺钉贯通该长孔并与该装置基台的内螺纹孔螺合，从而利用该螺钉将该冷却套和该电动机托架一起拧紧固定。