[发明专利]加工装置

说明书

提供加工装置，不调整带张力便能够进行冷却机构的更换和追加，并且能够缩短作业时间。加工装置(1)具有对晶片(W)进行保持的保持单元(2)，保持单元具有：保持工作台(20)，其对晶片进行保持；旋转轴(21)，其使保持工作台旋转；电动机(24)，其使旋转轴旋转；传递单元(25)，其将电动机的旋转力传递至旋转轴；以及冷却套(27)，其对电动机托架(26)进行冷却，冷却套与电动机托架接触并且在内部具有流通冷却水(8)的冷却水路(272)，因此不将电动机托架与电动机一起从例如装置基台(10)取下而能够容易地进行冷却套相对于电动机托架的装卸。由此，不需要进行带张力的调整，能够缩短作业时间。

技术领域

本发明涉及加工装置，对保持工作台所保持的晶片进行磨削加工。

背景技术

对晶片进行磨削的磨削装置至少具备：保持工作台，其对晶片进行保持；电动机，其使保持工作台旋转；电动机托架，其用于安装电动机；以及磨削磨轮，其呈环状配设有对保持工作台所保持的晶片进行磨削的磨削磨具，该磨削装置一边通过电动机使保持工作台旋转一边利用磨削磨具对保持工作台所保持的晶片进行磨削(例如，参照下述的专利文献1)。

使保持工作台旋转的电动机在进行旋转动作时会发热，因此存在下述问题：电动机的热传递至保持工作台而使保持工作台的倾斜发生变化或使保持面的形状发生变化，从而导致无法将晶片的面内磨削成均匀的厚度。因此，已有具备冷却机构的磨削装置，该冷却机构在电动机托架的内部设置水路并通入水将电动机的热隔断。

专利文献1：日本特开2010-89234号公报

但是，有时由于通入水路的水的水质而使水路堵塞，在该情况下，需要更换电动机托架。例如，在通过带传递机构使保持工作台旋转的情况下，当更换电动机托架时，需要使带暂时松弛并调整带张力，因此花费作业时间。另外，在上述专利文献1所示的磨削装置中，利用不具有水路的电动机托架安装电动机，因此有时在之后需要冷却机构。在该情况下，也存在下述问题：当更换电动机托架时需要调整带张力，花费作业时间。

发明内容

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供加工装置，不对将电动机的旋转力传递至保持工作台的传递机构进行调整便能够进行冷却机构的更换和追加，并且能够缩短作业时间。

本发明是加工装置，其具有：对晶片进行保持的保持单元；以及对该晶片进行加工的加工单元，其中，该保持单元具有：保持工作台，其对晶片进行保持；旋转轴，其以该保持工作台的中心为轴进行旋转；保持基座，其被支承于装置基台，将该旋转轴支承为旋转自如；作为该旋转轴的旋转动力源的电动机，其借助板状的电动机托架而配设于该保持基座或装置基台；传递单元，其将该电动机的旋转力传递至该旋转轴；以及冷却套，其对该电动机托架进行冷却，该冷却套与该电动机托架接触并且在内部具有流通冷却水的冷却水路。

本发明的加工装置具有对晶片进行保持的保持单元，保持单元具有：保持工作台，其对晶片进行保持；旋转轴，其以保持工作台的中心为轴进行旋转；保持基座，其被支承于装置基台，将旋转轴支承为旋转自如；作为旋转轴的旋转动力源的电动机，其借助板状的电动机托架而配设于保持基座或装置基台；传递单元，其将电动机的旋转力传递至旋转轴；以及冷却套，其对电动机托架进行冷却，冷却套与电动机托架接触并且在内部具有流通冷却水的冷却水路，因此不将电动机托架与电动机一起从保持基座或装置基台取下便能够容易地进行冷却套相对于电动机托架的装卸。因此，在传递单元例如由带传递机构构成的情况下，不进行带张力的调整便能够进行冷却套的更换和追加，能够缩短作业时间。另外，在传递单元例如由齿轮传递机构构成的情况下，也无需对齿轮的啮合进行调整，与上述同样地，能够缩短作业时间。

附图说明

图1是示出加工装置的结构的立体图。

图2是示出保持单元的结构的剖视图。

图3是示出将冷却套安装于电动机托架之前的状态的保持单元的立体图。

图4是示出冷却套的结构的俯视图。