[发明专利]一种防膜碎产生及提高效率的方法在审
申请号: | 201811076461.1 | 申请日: | 2018-09-14 |
公开(公告)号: | CN109195342A | 公开(公告)日: | 2019-01-11 |
发明(设计)人: | 张先鹏;贺波;蒋善刚;文国堂 | 申请(专利权)人: | 奥士康精密电路(惠州)有限公司 |
主分类号: | H05K3/06 | 分类号: | H05K3/06 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 陈卫;谭映华 |
地址: | 516200 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种防膜碎产生及提高效率的方法,包括以下步骤:S1、对外层菲林靶标进行优化设计;S2、在显影槽上增加过滤棉,显影过程中,控制干膜输送速度、碳酸钠PH值、显影槽温度和显影压力,以此控制显影范围,降低换槽频率;S3、显影过程完成后再将板面进行水洗;在步骤S1中,所述外层菲林靶标设计为GTL面中心是一个外径2.2mm,内径1.6mm,环宽0.3mm的环,环中间设计为开口,成十字架形状,环开口处宽度为0.3mm;GBL面中心是一个1.0mm直径的圆。本发明的有益效果在于:通过对外层菲林靶标进行优化设计,在显影槽上增加过滤棉,同时,对显影参数进行控制,避免了靶标孔产生膜碎,减少报废,提高了生产效率。 | ||
搜索关键词: | 靶标 显影槽 菲林 显影过程 优化设计 过滤棉 面中心 十字架形状 生产效率 显影参数 显影压力 环开口 碳酸钠 板面 干膜 环宽 换槽 显影 开口 报废 | ||
【主权项】:
1.一种防膜碎产生及提高效率的方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、对外层菲林靶标进行优化设计;S2、在显影槽上增加过滤棉,显影过程中,控制干膜输送速度、碳酸钠PH值、显影槽温度和显影压力,以此控制显影范围,降低换槽频率;S3、显影过程完成后再将板面进行水洗。
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