[发明专利]一种防膜碎产生及提高效率的方法在审
申请号: | 201811076461.1 | 申请日: | 2018-09-14 |
公开(公告)号: | CN109195342A | 公开(公告)日: | 2019-01-11 |
发明(设计)人: | 张先鹏;贺波;蒋善刚;文国堂 | 申请(专利权)人: | 奥士康精密电路(惠州)有限公司 |
主分类号: | H05K3/06 | 分类号: | H05K3/06 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 陈卫;谭映华 |
地址: | 516200 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 靶标 显影槽 菲林 显影过程 优化设计 过滤棉 面中心 十字架形状 生产效率 显影参数 显影压力 环开口 碳酸钠 板面 干膜 环宽 换槽 显影 开口 报废 | ||
1.一种防膜碎产生及提高效率的方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1、对外层菲林靶标进行优化设计;
S2、在显影槽上增加过滤棉,显影过程中,控制干膜输送速度、碳酸钠PH值、显影槽温度和显影压力,以此控制显影范围,降低换槽频率;
S3、显影过程完成后再将板面进行水洗。
2.根据权利要求1所述的一种防膜碎产生及提高效率的方法,其特征在于,在所述步骤S1中,所述外层菲林靶标设计为一个GTL面中心是一个外径2.2mm,内径1.6mm,环宽0.3mm的环,环中间设计为开口,成十字架形状,环开口处宽度为0.3mm;GBL面中心是一个1.0mm直径的圆。
3.根据权利要求1所述的一种防膜碎产生及提高效率的方法,其特征在于,所述干膜输送速度设置为4.8 -5.2m/min。
4.根据权利要求1所述的一种防膜碎产生及提高效率的方法,其特征在于,所述碳酸钠的PH值控制在10.5-11.5mol/l。
5.根据权利要求1所述的一种防膜碎产生及提高效率的方法,其特征在于,所述显影压力包括上显影压力和下显影压力;所述上显影压力控制在0.8-1.5kg/cm;所述下显影压力控制在0.7-1.4kg/cm。
6.根据权利要求1所述的一种防膜碎产生及提高效率的方法,其特征在于,所述显影范围为50-60%。
7.根据权利要求1所述的一种防膜碎产生及提高效率的方法,其特征在于,所述换槽频率包括正片流程和负片流程;在所述正片流程中,每生产600-800㎡换一次显影槽,在负片流程中,每生产800-1000㎡换一次显影槽。
8.根据权利要求1所述的一种防膜碎产生及提高效率的方法,其特征在于,在步骤S3中,所述水洗压力控制在0.6-1.6kg/cm。
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