[发明专利]蒸发源装置和蒸镀装置在审
| 申请号： | 201811070878.7 | 申请日： | 2018-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN109913818A | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 风间良秋;近藤喜成 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 刘杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供蒸发源装置和蒸镀装置，在蒸发源装置中，能够抑制温度降低，并且进行蒸镀材料所通过的开口的位置控制。蒸发源装置具有：容器，收容蒸镀材料，且具有开口；加热部件，加热容器；以及收容构件，收容容器和加热部件，其特征在于，收容构件包括容器支承部、侧面部和定位部，容器支承部支承容器的底部的外侧的至少一部分，定位部从侧面部相对于容器呈棒状或板状地突出设置。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发源装置 容器支承部 加热部件 收容构件 蒸镀材料 蒸镀装置 侧面部 定位部 开口 加热容器 收容容器 突出设置 位置控制 温度降低 支承容器 板状地 棒状 收容 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发源装置，该蒸发源装置具有：容器，收容蒸镀材料，且具有开口；加热部件，加热所述容器；以及收容构件，收容所述容器和所述加热部件，其特征在于，所述收容构件包括容器支承部、侧面部和定位部，所述容器支承部支承所述容器的底部的外侧的至少一部分，所述定位部从所述侧面部相对于所述容器呈棒状或板状地突出设置。
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