[发明专利]蒸发源装置和蒸镀装置

权利要求书

1.一种蒸发源装置，该蒸发源装置具有：

容器，收容蒸镀材料，且具有开口；

加热部件，加热所述容器；以及

收容构件，收容所述容器和所述加热部件，

其特征在于，

所述收容构件包括容器支承部、侧面部和定位部，

所述容器支承部支承所述容器的底部的外侧的至少一部分，

所述定位部从所述侧面部相对于所述容器呈棒状或板状地突出设置。

2.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，

所述定位部相对于所述容器点接触或线接触。

3.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，

所述定位部被设置在与所述容器的开口位于的高度相同的高度。

4.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，

所述容器具有从所述容器的外侧面相对于所述定位部呈棒状或板状地突出的突出部。

5.一种蒸发源装置，该蒸发源装置具有：

容器，收容蒸镀材料，且具有开口；

加热部件，加热所述容器；以及

收容构件，收容所述容器和所述加热部件，

其特征在于，

所述收容构件包括容器支承部，

所述容器支承部支承所述容器的底部的外侧的至少一部分，

所述容器包括材料收容部和定位部，

所述定位部从所述材料收容部的外侧面相对于所述收容构件呈棒状或板状地突出设置。

6.根据权利要求5所述的蒸发源装置，其特征在于，

所述定位部相对于所述收容构件点接触或线接触。

7.根据权利要求5所述的蒸发源装置，其特征在于，

所述定位部被设置在与所述容器的开口位于的高度相同的高度。

8.根据权利要求5所述的蒸发源装置，其特征在于，

所述收容构件具有从所述收容构件的侧面部相对于所述定位部呈棒状或板状地突出的突出部。

9.根据权利要求5所述的蒸发源装置，其特征在于，

所述容器包括覆盖所述开口的盖部，该盖部具有供升华或气化了的蒸镀材料通过的开口，

所述盖部的外周端部相对于所述收容构件突出设置。

10.一种蒸镀装置，该蒸镀装置具有：

腔室；以及

被配置在所述腔室的内部的被处理体设置台和台座，该被处理体设置台载置被处理体，该台座设置蒸发源装置，

其特征在于，

所述蒸发源装置是权利要求1～9中任一项所述的蒸发源装置，

所述台座具有调整所述蒸发源装置的倾斜的倾斜调整机构。