[发明专利]蒸发源装置和蒸镀装置

说明书

本发明提供蒸发源装置和蒸镀装置，在蒸发源装置中，能够抑制温度降低，并且进行蒸镀材料所通过的开口的位置控制。蒸发源装置具有：容器，收容蒸镀材料，且具有开口；加热部件，加热容器；以及收容构件，收容容器和加热部件，其特征在于，收容构件包括容器支承部、侧面部和定位部，容器支承部支承容器的底部的外侧的至少一部分，定位部从侧面部相对于容器呈棒状或板状地突出设置。

技术领域

本发明涉及蒸发源装置和蒸镀装置。

背景技术

近年来，作为显示器的一种，具备使用了有机材料的电场发光的有机EL元件的有机EL装置备受关注。在该有机EL显示器等有机电子器件制造中，具有使用蒸发源装置，使有机材料、金属电极材料等蒸镀材料蒸镀到基板上而进行成膜的工序。

在蒸镀工序中使用的蒸发源装置具有作为收容蒸镀材料的容器的功能、和用于使蒸镀材料的温度上升而蒸发并使蒸镀材料附着于基板的表面的加热功能。以往，为了提高加热功能而进行良好的成膜，提出有能够均匀地加热蒸镀材料那样的蒸发源装置。

在专利文献1中，通过将加热器配置在喷嘴附近，防止蒸发源的喷嘴温度因热辐射而降低。

专利文献1：日本特开2015－67847号公报

在以往的结构中，没有记载收容蒸发材料的坩埚的支承方法。为了均匀地加热蒸镀材料，优选支承收容蒸着材料的坩埚的机构的与坩埚的接触点尽可能地少。特别是在因辐射热而温度容易降低的坩埚上部，通过减少与支承机构的接触点，能够防止坩埚的温度自接触点降低。

可是，在不固定地配置坩埚上部的情况下，难以对蒸镀材料所通过的开口的位置进行微调整。由于开口的位置对蒸镀到被蒸镀体的膜厚的均匀性产生影响，所以控制位置是重要的。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种蒸发源装置，在蒸发源装置中，能够抑制温度的降低，并且进行蒸镀材料所通过的开口的位置控制。

用于解决课题的技术方案

为了上述目的，本发明采用以下的结构。即，

一种蒸发源装置，该蒸发源装置具有：

容器，收容蒸镀材料，且具有开口；

加热部件，加热所述容器；以及

收容构件，收容所述容器和所述加热部件，

其特征在于，

所述收容构件包括容器支承部、侧面部和定位部，

所述容器支承部支承所述容器的底部的外侧的至少一部分，

所述定位部从所述侧面部相对于所述容器呈棒状或板状地突出设置。

发明的效果

根据本发明，能够抑制蒸发源装置的温度的降低，并且进行蒸镀材料所通过的开口的位置控制。

附图说明

图1是蒸镀装置的示意性的剖视图。

图2是实施例1的蒸发源装置的示意图。

图3是实施例2的蒸发源装置的示意图。

图4是实施例3的蒸发源装置的示意图。

图5是实施例4的蒸发源装置的示意图。

图6是实施例5的蒸发源装置的示意图。

图7是有机EL显示装置的说明图。

具体实施方式