[发明专利]一种MEMS压力传感器模组有效
| 申请号： | 201811050171.X | 申请日： | 2018-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN109186819B | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 解渤;尉长虹 | 申请（专利权）人： | 上海平脉科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22 |
| 代理公司： | 北京瀚仁知识产权代理事务所(普通合伙) 11482 | 代理人： | 宋宝库 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS压力传感器模组，涉及压力传感技术领域。该MEMS压力传感器模组包括基板与多个压力传感单元，多个压力传感单元均安装于基板上，且基板与每个压力传感单元的对应的位置均设置有应变空腔，基板用于在受到外力时发生形变。本发明提供的MEMS压力传感器模组具有可以同时测量微小尺度下的多个面压力值，而且集成处理电路，减少电路安装体积的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 压力传感器 模组 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS压力传感器模组，其特征在于，所述MEMS压力传感器模组包括基板与多个压力传感单元，所述多个压力传感单元均设置于所述基板上，且所述基板与每个所述压力传感单元的对应的位置均设置有应变空腔，所述基板用于在受到外力时发生形变。
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