[发明专利]一种MEMS压力传感器模组有效
| 申请号： | 201811050171.X | 申请日： | 2018-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN109186819B | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 解渤;尉长虹 | 申请（专利权）人： | 上海平脉科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22 |
| 代理公司： | 北京瀚仁知识产权代理事务所(普通合伙) 11482 | 代理人： | 宋宝库 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 mems 压力传感器 模组 | ||
【权利要求书】：
1.一种MEMS压力传感器模组，其特征在于，所述MEMS压力传感器模组包括基板与多个压力传感单元，所述多个压力传感单元均设置于所述基板上，且所述基板与每个所述压力传感单元的对应的位置均设置有应变空腔，所述基板用于在受到外力时发生形变；
每个所述压力传感单元均包括上电极与下电极，所述上电极与所述下电极分别安装于所述基板的两面且相对设置以组成可变电容。
2.如权利要求1所述的MEMS压力传感器模组，其特征在于，所述MEMS压力传感器模组还包括信号处理单元，所述信号处理单元分别与所述多个压力传感单元电连接。
3.如权利要求2所述的MEMS压力传感器模组，其特征在于，所述信号处理单元与所述多个压力传感单元均集成于所述基板上。
4.如权利要求2所述的MEMS压力传感器模组，其特征在于，所述信号处理单元包括模数转换器、放大滤波模块以及处理器，所述模数转换器、所述放大滤波模块以及所述处理器依次电连接，且所述模数转换器分别与所述多个压力传感单元电连接。
5.如权利要求1所述的MEMS压力传感器模组，其特征在于，所述MEMS压力传感器模组还包括缓冲层，所述缓冲层铺设于所述基板与多个压力传感单元上。
6.如权利要求1所述的MEMS压力传感器模组，其特征在于，所述多个压力传感单元按阵列方式排布。
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