[发明专利]一种观察组件及其MOCVD设备有效

专利信息
申请号: 201811048997.2 申请日: 2018-09-10
公开(公告)号: CN108950522B 公开(公告)日: 2020-07-10
发明(设计)人: 袁素;李天芬;张金 申请(专利权)人: 南京苏博工业设计有限公司
主分类号: C23C16/455 分类号: C23C16/455;C23C16/46;C23C16/52;C30B25/10;C30B25/14;C30B25/16
代理公司: 北京华识知识产权代理有限公司 11530 代理人: 刘艳玲
地址: 210000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种观察组件及其MOCVD设备,包括,立板,立板底部与顶盖板装配固定、顶部与第一顶板装配固定,且立板侧面还分别与第二顶板、第三顶板、第四顶板装配固定,从而形成框架结构;第一顶板与油缸伸缩轴装配固定,第二顶板与第一顶板之间固定有升降电机,升降电机的升降输出轴穿过第二顶板后与升降驱动齿装配固定,升降驱动齿与升降中间齿啮合传动,升降中间齿与升降从动齿啮合传动,升降中间齿安装在升降中间轴上,升降中间轴两端分别与第二顶板、第三顶板可转动装配,升降从动齿设置在升降轴顶部;升降轴底部穿过第四顶板后与装配环可转动装配,装配环固定在顶盖板上,且升降轴与第四顶板通过螺纹旋合装配;第四顶板与观察柱顶部装配固定。
搜索关键词: 一种 观察 组件 及其 mocvd 设备
【主权项】:
1.一种观察组件,其特征是:包括,立板,立板底部与顶盖板装配固定、顶部与第一顶板装配固定,且立板侧面还分别与第二顶板、第三顶板、第四顶板装配固定,从而形成框架结构;第一顶板与油缸伸缩轴装配固定,第二顶板与第一顶板之间固定有升降电机,升降电机的升降输出轴穿过第二顶板后与升降驱动齿装配固定,升降驱动齿与升降中间齿啮合传动,升降中间齿与升降从动齿啮合传动,所述的升降中间齿安装在升降中间轴上,升降中间轴两端分别与第二顶板、第三顶板可转动装配,升降从动齿设置在升降轴顶部;升降轴底部穿过第四顶板后与装配环可转动装配,装配环固定在顶盖板上,且升降轴与第四顶板通过螺纹旋合装配;所述的第四顶板与观察柱顶部装配固定。
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