[发明专利]一种观察组件及其MOCVD设备有效
申请号: | 201811048997.2 | 申请日: | 2018-09-10 |
公开(公告)号: | CN108950522B | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
发明(设计)人: | 袁素;李天芬;张金 | 申请(专利权)人: | 南京苏博工业设计有限公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455;C23C16/46;C23C16/52;C30B25/10;C30B25/14;C30B25/16 |
代理公司: | 北京华识知识产权代理有限公司 11530 | 代理人: | 刘艳玲 |
地址: | 210000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种观察组件及其MOCVD设备,包括,立板,立板底部与顶盖板装配固定、顶部与第一顶板装配固定,且立板侧面还分别与第二顶板、第三顶板、第四顶板装配固定,从而形成框架结构;第一顶板与油缸伸缩轴装配固定,第二顶板与第一顶板之间固定有升降电机,升降电机的升降输出轴穿过第二顶板后与升降驱动齿装配固定,升降驱动齿与升降中间齿啮合传动,升降中间齿与升降从动齿啮合传动,升降中间齿安装在升降中间轴上,升降中间轴两端分别与第二顶板、第三顶板可转动装配,升降从动齿设置在升降轴顶部;升降轴底部穿过第四顶板后与装配环可转动装配,装配环固定在顶盖板上,且升降轴与第四顶板通过螺纹旋合装配;第四顶板与观察柱顶部装配固定。 | ||
搜索关键词: | 一种 观察 组件 及其 mocvd 设备 | ||
【主权项】:
1.一种观察组件,其特征是:包括,立板,立板底部与顶盖板装配固定、顶部与第一顶板装配固定,且立板侧面还分别与第二顶板、第三顶板、第四顶板装配固定,从而形成框架结构;第一顶板与油缸伸缩轴装配固定,第二顶板与第一顶板之间固定有升降电机,升降电机的升降输出轴穿过第二顶板后与升降驱动齿装配固定,升降驱动齿与升降中间齿啮合传动,升降中间齿与升降从动齿啮合传动,所述的升降中间齿安装在升降中间轴上,升降中间轴两端分别与第二顶板、第三顶板可转动装配,升降从动齿设置在升降轴顶部;升降轴底部穿过第四顶板后与装配环可转动装配,装配环固定在顶盖板上,且升降轴与第四顶板通过螺纹旋合装配;所述的第四顶板与观察柱顶部装配固定。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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