[发明专利]一种观察组件及其MOCVD设备

权利要求书

1.一种观察组件，其特征是：包括，立板，立板底部与顶盖板装配固定、顶部与第一顶板装配固定，且立板侧面还分别与第二顶板、第三顶板、第四顶板装配固定，从而形成框架结构；

第一顶板与油缸伸缩轴装配固定，第二顶板与第一顶板之间固定有升降电机，升降电机的升降输出轴穿过第二顶板后与升降驱动齿装配固定，升降驱动齿与升降中间齿啮合传动，升降中间齿与升降从动齿啮合传动，所述的升降中间齿安装在升降中间轴上，升降中间轴两端分别与第二顶板、第三顶板可转动装配，升降从动齿设置在升降轴顶部；

升降轴底部穿过第四顶板后与装配环可转动装配，装配环固定在顶盖板上，且升降轴与第四顶板通过螺纹旋合装配；所述的第四顶板与观察柱顶部装配固定；

所述的第四顶板上还固定有两块第一侧板、两块第二侧板，两块所述的第一侧板分别与绕线轴两端可转动装配，第二侧板与与之靠近的第一侧板分别与导向轴两端可转动装配；

所述的绕线轴一端与第一斜齿轮装配固定，第一斜齿轮与第二斜齿轮啮合传动，第二斜齿轮固定在绕线输出轴一端，绕线输出轴另一端穿过绕线隔板后与绕线电机装配。

2.如权利要求1所述的观察组件，其特征是：绕线电机固定在绕线托板上，所述的绕线隔板、绕线托板分别与第四顶板装配固定；

绕线轴与拉线一端连接固定，且拉线可缠绕在绕线轴上，拉线另一端绕过导向轴后穿过顶盖、进入吹气通道，然后穿出吹气通道、绕过变向轴后与盖板一侧装配固定。

3.如权利要求2所述的观察组件，其特征是：所述的观察柱包括顶盖、柱体、底盖，所述的柱体上分别设置有第一通道、第二通道、吹气通道，所述的第一通道、第二通道分别与观察管、探头管密封装配，所述的观察管、探头管靠近底盖一端分别设置有摄像头、拉曼光纤探头，所述的摄像头用于获取托盘上的图像，所述的拉曼光纤探头用于收发拉曼光谱仪的光信号；

所述的吹气通道顶端面通过顶盖密封，且吹气通道顶部通过连接气管与气源连通。

4.如权利要求3所述的观察组件，其特征是：所述的底盖在于第一通道、第二通道对应处设置有观察通槽、与吹气通道对应处设置有吹气通孔，且底盖上还设置有盖板滑槽、弹簧安装孔；

所述的弹簧安装孔与盖板弹簧一端装配固定，盖板弹簧另一端与盖板内侧贴紧；

所述的变向轴两端分别与盖板滑槽两侧可转动装配，且盖板滑槽与盖板可滑动装配，所述的盖板有两块；

所述的吹气通孔内固定有限位环，所述的限位环底部分别与两块单向阀片一侧装配固定。

5.一种MOCVD设备，其特征是：应用有权利要求1-4任一项所述的观察组件；还包括托盘组件，所述的托盘组件，包括，托盘，托盘底部通过托盘连接柱穿过让位孔后与转子装配固定；转子安装在定子内侧的转子槽内，且转子可在转子槽内转动；转子上设置有转子驱动孔，转子驱动孔内侧面设置有卡齿，所述的卡齿与驱动齿轮啮合传动。

6.如权利要求5所述的MOCVD设备，其特征是：还包括，外壳底板，外壳底板通过外壳侧板与外壳顶板装配固定，外壳顶板上安装有油缸，油缸的油缸伸缩轴穿过外壳顶板与观察组件装配固定；

所述的观察组件底部固定在顶盖板上，所述的顶盖板用于封闭外筒顶部，外筒底部通过底盖板封闭，且外筒内侧安装有内筒，所述的外筒和内桶之间缠绕有线圈，所述的线圈用于通电产生与内筒轴向同向的磁场；

所述的内筒内部由上而下依次设有托盘隔板、离合隔板、动力隔板，所述的托盘隔板上固定有托盘组件，所述的离合隔板上固定有离合组件，所述的动力隔板上固定有动力组件；

所述的内筒内侧、托盘上方还设有喷气隔板，喷气隔板上设置有数个贯穿的喷气通孔，且喷气隔板与喷气管接通。

7.如权利要求6所述的MOCVD设备，其特征是：驱动齿轮固定在驱动轴一端，驱动轴装入离合筒内，且驱动轴与检测通孔装配固定，从而将检测盘固定在驱动轴上；

检测盘上设置有数个均匀分布在其周向上、且贯穿检测盘的检测通槽，且检测盘两侧分别设置有发射器、接收器，所述的发射器和接收器组合成光电计数器；

所述的发射器安装在托盘隔板底面，所述的接收器安装在支撑杆上，支撑杆与托盘隔板装配固定。