[发明专利]两面研磨装置用的被研磨物保持用游星轮有效
| 申请号： | 201811032707.5 | 申请日： | 2018-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN109454548B | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 田中敬;杉山将贵 | 申请（专利权）人： | 创技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/28 | 分类号： | B24B37/28;B24B57/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李婷;刘林华 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种被研磨物保持用游星轮，该被研磨物保持用游星轮是两面研磨装置用的被研磨物保持用游星轮，用于获得具有精密的上下面粗糙度、并且具有优良的平行度、优良的平坦度的被研磨物。利用下述两面研磨装置用的被研磨物保持用游星轮解决问题，该被研磨物保持用游星轮具有一个或者一个以上用于保持被研磨物的保持孔，其特征在于，在比假想同心圆靠内侧的游星轮基材上穿孔多个小孔，并且在比前述假想同心圆靠外侧的游星轮基材上穿孔多个具有比前述小孔大的直径的小孔，该假想同心圆与用于保持被研磨物的保持孔具有相同的中心，并且以具有比该保持孔的半径大的半径的方式描绘。 | ||
| 搜索关键词： | 两面 研磨 装置 保持 游星 | ||
【主权项】：
1.一种两面研磨装置用的被研磨物保持用游星轮，该被研磨物保持用游星轮具有一个或者一个以上用于保持被研磨物的保持孔，所述被研磨物保持用游星轮的特征在于，在比假想同心圆靠内侧的游星轮基材上穿孔多个小孔，并且在比前述假想同心圆靠外侧的游星轮基材上穿孔多个具有比前述小孔大的直径的小孔，前述假想同心圆具有与前述保持孔相同的中心，并且该假想同心圆以具有比前述保持孔的半径大的半径的方式描绘。
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