[发明专利]两面研磨装置用的被研磨物保持用游星轮有效
| 申请号： | 201811032707.5 | 申请日： | 2018-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN109454548B | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 田中敬;杉山将贵 | 申请（专利权）人： | 创技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/28 | 分类号： | B24B37/28;B24B57/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李婷;刘林华 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 两面 研磨 装置 保持 游星 | ||
1.一种两面研磨装置用的被研磨物保持用游星轮，该被研磨物保持用游星轮具有一个或者一个以上用于保持被研磨物的保持孔，所述被研磨物保持用游星轮的特征在于，在比假想同心圆靠内侧的游星轮基材上穿孔多个小孔，并且在比前述假想同心圆靠外侧的游星轮基材上穿孔多个具有比前述小孔大的直径的小孔，前述假想同心圆具有与前述保持孔相同的中心，并且该假想同心圆以具有比前述保持孔的半径大的半径的方式描绘。
2.如权利要求1所述的两面研磨装置用的被研磨物保持用游星轮，其特征在于，
前述被研磨物的半径与前述假想同心圆的半径之间的差为前述保持孔的半径以下。
3.如权利要求1或2所述的两面研磨装置用的被研磨物保持用游星轮，其特征在于，
在比前述假想同心圆靠内侧的游星轮基材上穿孔的多个小孔的直径是被研磨物的半径的3%以上且15%以下。
4.如权利要求1或2所述的两面研磨装置用的被研磨物保持用游星轮，其特征在于，
在比前述假想同心圆靠外侧的游星轮基材上穿孔的多个小孔的直径是被研磨物的半径的6%以上且30%以下。
5.如权利要求1或2所述的两面研磨装置用的被研磨物保持用游星轮，其特征在于，
在比前述假想同心圆靠内侧的游星轮基材上穿孔的小孔与相邻的小孔之间的间隔是前述小孔的直径以下。
6.如权利要求1或2所述的两面研磨装置用的被研磨物保持用游星轮，其特征在于，
在比前述假想同心圆靠外侧的游星轮基材上穿孔的小孔与相邻的小孔之间的间隔是前述小孔的直径以下。
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