[发明专利]一种双电源控制多晶铸锭化料工艺在审
| 申请号: | 201811032155.8 | 申请日: | 2018-09-05 |
| 公开(公告)号: | CN109137064A | 公开(公告)日: | 2019-01-04 |
| 发明(设计)人: | 段金刚;明亮;王锋;周社柱;黄美玲;邱昊 | 申请(专利权)人: | 湖南红太阳光电科技有限公司;山西中电科新能源技术有限公司 |
| 主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司: | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人: | 周长清;何文红 |
| 地址: | 410205 湖南省*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种双电源控制多晶铸锭化料工艺,采用开笼半熔工艺对硅料进行熔化,在熔化的不同阶段,控制顶部加热器与侧部加热器的协调因子n由0.3逐步向3.0调节,n=P1/P2,其中P1为顶部加热器的输出功率,P2为侧部加热器的输出功率。本发明双电源控制多晶铸锭化料工艺具有化料过程可控、安全性高、化料成本低廉、化料效率高等优点,适合于大规模制备,利于工业化生产,且相比常规化料工艺,本发明化料工艺所得籽晶层没有完全熔化,剩余籽晶层保留界面平坦,能够获得更大的籽晶保留面积。 | ||
| 搜索关键词: | 化料 熔化 多晶铸锭 双电源 侧部加热器 顶部加热器 输出功率 籽晶层 化料过程 常规化 保留 硅料 可控 籽晶 制备 平坦 协调 | ||
【主权项】:
1.一种双电源控制多晶铸锭化料工艺,采用开笼半熔工艺对硅料进行熔化,其特征在于,在熔化的不同阶段,控制顶部加热器与侧部加热器的协调因子n由0.3逐步向3.0调节,n=P1/P2,其中P1为顶部加热器的输出功率,P2为侧部加热器的输出功率。
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