[发明专利]一种双电源控制多晶铸锭化料工艺在审
| 申请号： | 201811032155.8 | 申请日： | 2018-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN109137064A | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 段金刚;明亮;王锋;周社柱;黄美玲;邱昊 | 申请（专利权）人： | 湖南红太阳光电科技有限公司;山西中电科新能源技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 周长清;何文红 |
| 地址： | 410205 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 化料 熔化 多晶铸锭 双电源 侧部加热器 顶部加热器 输出功率 籽晶层 化料过程 常规化 保留 硅料 可控 籽晶 制备 平坦 协调 | ||
1.一种双电源控制多晶铸锭化料工艺，采用开笼半熔工艺对硅料进行熔化，其特征在于，在熔化的不同阶段，控制顶部加热器与侧部加热器的协调因子n由0.3逐步向3.0调节，n=P1/P2，其中P1为顶部加热器的输出功率，P2为侧部加热器的输出功率。
2.根据权利要求1所述的双电源控制多晶铸锭化料工艺，其特征在于，所述熔化的不同阶段分为熔化前期、熔化中期和熔化末期；
所述熔化前期，控制顶部加热器与侧部加热器的协调因子n为1≥n＞0.3，使控温热偶温度提升至1200℃；
所述熔化中期，控制顶部加热器与侧部加热器的协调因子n为3.0＞n≥1，使控温热偶温度提升至1520℃～1560℃；
所述熔化末期，控制顶部加热器与侧部加热器的协调因子n为3.0≥n＞1，待籽晶层的剩余厚度为1mm～30mm时，停止熔化。
3.根据权利要求2所述的双电源控制多晶铸锭化料工艺，其特征在于，所述熔化前期的持续时间为1h～4h。
4.根据权利要求2所述的双电源控制多晶铸锭化料工艺，其特征在于，所述熔化中期，在提升控温热偶温度的同时控制隔热笼的开度为0mm～50mm；所述熔化中期的持续时间为6h～9h。
5.根据权利要求2所述的双电源控制多晶铸锭化料工艺，其特征在于，所述熔化末期，在熔化过程中控制隔热笼的开度为1mm～60mm。
6.根据权利要求5所述的双电源控制多晶铸锭化料工艺，其特征在于，所述熔化末期，停止熔化后还包括以下步骤：控制顶部加热器与侧部加热器的协调因子n为3.0≥n＞1，使控温热偶温度为1400℃～1510℃，同时控制隔热笼的开度为1mm～60mm。
7.根据权利要求6所述的双电源控制多晶铸锭化料工艺，其特征在于，所述熔化末期的持续时间为2h～15h。
8.根据权利要求1～7中任一项所述的双电源控制多晶铸锭化料工艺，其特征在于，所述硅料在熔化之前还包括以下处理：将多晶辅料铺在石英坩埚底部，加入硅料和硅硼合金，进料，抽真空，加热至1175℃。
9.根据权利要求8所述的双电源控制多晶铸锭化料工艺，其特征在于，所述多晶辅料、硅料和硅硼合金的质量比为3～4∶112～113∶0.0106～0.012；所述多晶辅料为碎多晶、多晶边皮、多晶尾料、单晶尾料、多晶头料中的至少一种。
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