[发明专利]晶圆固定装置和集成电路用晶圆贴标签设备

摘要

本发明涉及集成电路技术领域。晶圆固定装置，包括晶圆吸附机构和晶圆载台机构；晶圆载台机构用于承接加工的晶圆；晶圆吸附机构位于晶圆载台机构中央，用于吸取固定在晶圆载台机构上的晶圆。该晶圆固定装置的优点是晶圆定位方便且稳定，适用于不同尺寸晶圆使用。

主权项

1.晶圆固定装置，其特征在于包括晶圆吸附机构（41）和晶圆载台机构（42）；晶圆载台机构（42）用于承接加工的晶圆；晶圆吸附机构（41）位于晶圆载台机构（42）中央，用于吸取固定在晶圆载台机构（42）上的晶圆；晶圆吸附机构（41）包括圆形吸盘（411）、圆柱形光轴（412）、安装板（413）和第二气缸（414）；圆柱形光轴（412）固定在圆形吸盘（411）底部，圆柱形光轴（412）通过直线轴承移动连接在安装板（413）上，圆形吸盘（411）上设有多个用于吸住晶圆载台机构（42）上晶圆的吸气孔；第二气缸（414）固定设置在安装板（413）上，第二气缸（414）伸缩端与圆形吸盘（411）相连接；晶圆载台机构（42）包括晶圆夹条（421）、第一移动模组（422）、第四电机（423）、第三丝杠螺母（424）和第三丝杠（425）；晶圆夹条（421）和第一移动模组（422）分别是两个；晶圆夹条（421）包括底座（4211）及其上的晶圆夹杆（4212），底座连接在第一移动模组（422）上，晶圆夹杆内侧设有L形缺口，两个晶圆夹条（421）相向设置，使得晶圆处于在两个晶圆夹条（421）之间，晶圆夹条（421）沿第一移动模组（422）来回移动；第四电机（423）输出轴与第三丝杠（425）相连接；第三丝杠（425）两侧丝杠旋向相反；第三丝杠螺母（424）相对应配合在第三丝杠（425）两端，两个第三丝杠螺母（424）分别对应连接两个晶圆夹条（421）。