[发明专利]晶圆盒的检测方法及晶圆盒的检测系统

摘要

本发明涉及一种晶圆盒的检测方法及晶圆盒的检测系统。该晶圆盒的检测方法，包含以下步骤：检测步骤：利用多个检测模块对预定位置进行检测，并利用处理模块将多个检测模块之检测结果转换为多个检测数值；彼此相邻设置的两个检测模块，其检测范围的部分相互重叠。判断步骤：通过处理模块依据多个检测数值，判断晶圆盒的预定位置是否设置有辅助构件；当处理模块判断大于一半的检测数值落在第一预定数值区间时，处理模块则判定晶圆盒的预定位置设置有辅助构件；当处理模块判断大于一半的检测数值落在第二预定数值区间时，处理模块则判定晶圆盒的预定位置没有设置辅助构件。

主权项

1.一种晶圆盒的检测方法，其特征在于，所述晶圆盒的检测方法用以对一晶圆盒的至少一预定位置进行检测，所述预定位置用以设置一辅助构件，所述晶圆盒的检测方法包含以下步骤：一检测步骤：利用多个检测模块对所述预定位置进行检测，并利用一处理模块将多个所述检测模块之检测结果转换为多个检测数值；其中，彼此相邻设置的两个所述检测模块，其检测范围的部分相互重叠；以及一判断步骤：通过所述处理模块依据多个所述检测数值，判断所述晶圆盒的所述预定位置是否设置有所述辅助构件；其中，当所述处理模块判断大于一半的所述检测数值落在一第一预定数值区间时，所述处理模块则判定所述预定位置设置有所述辅助构件；当所述处理模块判断大于一半的所述检测数值落在一第二预定数值区间时，所述处理模块则判定所述预定位置没有设置所述辅助构件。