[发明专利]晶圆盒的检测方法及晶圆盒的检测系统

权利要求书

1.一种晶圆盒的检测方法，其特征在于，所述晶圆盒的检测方法用以对一晶圆盒的至少一预定位置进行检测，所述预定位置用以设置一辅助构件，所述晶圆盒的检测方法包含以下步骤：

一检测步骤：利用多个检测模块对所述预定位置进行检测，并利用一处理模块将多个所述检测模块之检测结果转换为多个检测数值；其中，彼此相邻设置的两个所述检测模块，其检测范围的部分相互重叠；以及

一判断步骤：通过所述处理模块依据多个所述检测数值，判断所述晶圆盒的所述预定位置是否设置有所述辅助构件；其中，当所述处理模块判断大于一半的所述检测数值落在一第一预定数值区间时，所述处理模块则判定所述预定位置设置有所述辅助构件；当所述处理模块判断大于一半的所述检测数值落在一第二预定数值区间时，所述处理模块则判定所述预定位置没有设置所述辅助构件；

其中，于所述检测步骤中，多个所述检测模块检测所述预定位置后将对应产生多个检测信号，所述处理模块接收多个所述检测信号后，能将多个所述检测信号进行一标准化操作，以使多个所述检测信号转换为多个所述检测数值；于所述标准化操作中，所述处理模块是先将多个所述检测信号转换为多个初始数值后，再依据一第一数值及一第二数值，并利用一标准化公式，将所述初始数值转换为所述检测数值，所述标准化公式如下：

其中，所述第一数值是在所述晶圆盒的所述预定位置确实有设置所述辅助构件的情况下，依据处理模块接收多个所述检测模块的检测信号进行设定，而所述第二数值是在所述晶圆盒的所述预定位置确实没有设置所述辅助构件的情况下，依据所述处理模块接收多个所述检测模块的检测信号进行设定。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒的检测方法，其特征在于，于所述判断步骤中，当所述处理模块判断大于一半的所述检测数值未落在所述第一预定数值区间或所述第二预定数值区间时，所述处理模块则判定检测失败，所述处理模块则选择性地控制多个检测模块再次执行所述检测步骤。

3.根据权利要求1所述的晶圆盒的检测方法，其特征在于，于所述检测步骤前还包含有一信息获取步骤：利用一信息获取模块，获取所述晶圆盒的一预定信息；于所述判断步骤中，所述处理模块依据所述预定信息及多个所述检测数值，判断所述晶圆盒的所述预定位置是否设置有所述辅助构件。

4.一种晶圆盒的检测系统，其特征在于，所述晶圆盒的检测系统用以对一晶圆盒的至少一预定位置进行检测，所述预定位置用以设置一辅助构件，所述晶圆盒的检测系统包含：

一载台，其用以承载所述晶圆盒；

多个检测模块，其能分别对所述预定位置进行检测，且彼此相邻设置的两个所述检测模块的检测范围的部分相互重叠；

一处理模块，其电性连接多个所述检测模块，且所述处理模块能将多个所述检测模块所检测结果转换为多个检测数值，且所述处理模块能依据多个所述检测数值，以判断所述晶圆盒的所述预定位置，是否设置有所述辅助构件；

其中，当所述处理模块判断大于一半的所述检测数值落在一第一预定数值区间时，所述处理模块则对应判定所述晶圆盒的所述预定位置设置有所述辅助构件；当所述处理模块判断大于一半的所述检测数值落在一第二预定数值区间时，所述处理模块则对应判定所述晶圆盒的所述预定位置没有设置所述辅助构件；

其中，多个所述检测模块检测所述预定位置后将对应产生多个检测信号，所述处理模块接收多个所述检测信号后，能将多个所述检测信号进行一标准化操作，以使多个所述检测信号转换为多个所述检测数值；于所述标准化操作中，所述处理模块是先将多个所述检测信号转换为多个初始数值后，再依据一第一数值及一第二数值，并利用一标准化公式，将所述初始数值转换为所述检测数值，所述标准化公式如下：

其中，所述第一数值是在所述晶圆盒的所述预定位置确实有设置所述辅助构件的情况下，依据处理模块接收多个所述检测模块的检测信号进行设定，而所述第二数值是在所述晶圆盒的所述预定位置确实没有设置所述辅助构件的情况下，依据所述处理模块接收多个所述检测模块的检测信号进行设定。