[发明专利]基板处理装置

摘要

一种基板处理装置，包含储液槽、输送单元，以及多个处理单元。所述储液槽适用于储存并供应处理液。所述输送单元用于输送所述处理液，所述输送单元包括至少一连通于所述储液槽的分液管路。所述处理单元分别连通于所述分液管路，每一处理单元包括处理室、连通于所述分液管路与所述处理室之间的输出管路，以及设置于所述输出管路以驱动所述处理液流至所述处理室的输出泵。每一输出泵的设置高度低于所述储液槽的设置高度且相差一高度差，且所述高度差使流入所述输出泵的所述处理液具有小于所述输出泵的最大输入压力的液压，以避免所述输出泵过载而使所述输出泵的输出超出预设值，进而造成流入所述处理室的处理液流量与需求不符。