[发明专利]一种超薄热管毛细结构及其制备方法有效
| 申请号： | 201811004792.4 | 申请日： | 2018-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN108871026B | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 张平;燕立培;许晖;史波;李娇;何虹 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | F28D15/04 | 分类号： | F28D15/04 |
| 代理公司： | 南京苏创专利代理事务所(普通合伙) 32273 | 代理人： | 王华 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种超薄热管毛细结构及其制备方法，该毛细结构包括基板及设置在基板上的铜微柱阵列，其中，所述的铜微柱阵列表面具有微或/和纳米级孔洞。其制备步骤为：采用光刻技术和电化学沉积法，在基板表面沉积出Cu‑Al |
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| 搜索关键词： | 一种 超薄 热管 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种热管毛细结构，其特征在于，该毛细结构包括基板及设置在基板上的铜微柱阵列，其中，所述的铜微柱阵列表面具有微或/和纳米级孔洞。
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