[发明专利]一种利用高能等离子体轰击工件表面并形成光滑镀层的设备

摘要

本发明属于镀膜技术领域，具体的说是一种利用高能等离子体轰击工件表面并形成光滑镀层的设备，包括外壳体、内壳体、工作台、靶材、电机、旋转轴、一号轴承、固定环、永磁铁、转动杆、推力轴承、环形磁铁、弹簧、挡板、磁性隔离模块，本发明通过在旋转轴上端的圆柱面上设置一组永磁铁，在固定环的上下端各设置一个推力轴承，在固定环的内侧圆柱面上设置一组永磁铁，在旋转轴上端与固定环之间设置磁性隔离模块，通过磁性隔离模块实现转动杆上的环形磁铁不断进行往复运动，进而使得加载到靶材上的磁场变得均匀，保证了靶材能够均匀的消耗，避免了靶材的浪费，同时使得待镀工件的镀层变得均匀，进而保证了镀件的质量。

主权项

1.一种利用高能等离子体轰击工件表面并形成光滑镀层的设备，包括外壳体(1)、内壳体(11)、工作台(12)、靶材(13)、电机(14)、旋转轴(2)、一号轴承(21)，所述内壳体(11)将外壳体(1)内分割为溅镀空间和容置空间；所述靶材(13)固定连接在溅镀空间的顶部，靶材(13)的下方设有工作台(12)；所述工作台(12)固定连接在外壳体(1)的底板上；所述旋转轴(2)设置于容置空间内，旋转轴(2)下端与电机(14)的轴端固定连接，旋转轴(2)的中部通过一号轴承(21)转动连接在内壳体(11)侧壁上；所述电机(14)固定连接在外壳体(1)的底板上；其特征在于：还包括固定环(3)、永磁铁(31)、转动杆(4)、推力轴承(5)、环形磁铁(41)、弹簧、挡板(42)、磁性隔离模块(6)，所述旋转轴(2)上端的圆柱面上设有一组永磁铁(31)；所述固定环(3)的上下端各设有一个推力轴承(5)；所述推力轴承(5)固定连接在内壳体(11)表面；所述固定环(3)的内侧圆柱面上设有一组永磁铁(31)，固定环(3)的外侧圆柱面上设有一组转动杆(4)；所述转动杆(4)一端固定连接在固定环(3)的外侧圆柱面上，转动杆(4)的另一端固定连接挡板(42)，转动杆(4)上滑动连接一组环形磁铁(41)；所述环形磁铁(41)的正负极沿轴向分布，相邻的环形磁铁(41)的极性相同，靠近固定环(3)一端的环形磁铁(41)与固定环(3)之间设有弹簧，靠近挡板(42)一端的环形磁铁(41)与挡板(42)之间设有弹簧；所述旋转轴(2)上端与固定环(3)之间设有磁性隔离模块(6)；所述磁性隔离模块(6)用于阻挡旋转轴(2)上的永磁铁(31)对固定环(3)上的永磁铁(31)的吸引。